中古 KLA / TENCOR Surfscan SP3 #293645338 を販売中

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ID: 293645338
ヴィンテージ: 2012
Inspection system 2012 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP3は、幅広い業界でマスクやウェーハを高精度かつ高速に検査できるように設計された強力なマスクおよびウェーハ検査装置です。高度な製造工程のレンズなどのナノメートルスケールの欠陥を特定するための効果的なツールです。半導体業界でも使用されています。KLA Surfscan SP3は、60cmのスキャンフィールドを採用しており、最大300mmの半導体ダイのイメージングが可能です。このシステムは、1ミクロンのピクセル解像度を備えており、業界最高水準を超え、ダイナミックレンジは1〜120 dBです。高度なアルゴリズムを使用して、TENCOR Surfscan SP3は数秒で明るい欠陥と暗い欠陥の両方を検出できます。さらに、強力な光学ユニットには複数の検出器と光源が装備されており、最大の性能、被写界深度、フィールドの均一性を保証します。ソフトウェアに関しては、Surfscan SP3には高度なオペレーティングマシンと強力で費用対効果の高いプロセスオートメーションツールがあります。True Scan Disparity Analysis (TSDA)ツールを使用して、欠陥を自動的に検出、測定、分類します。さらに、KLA/TENCOR Surfscan SP3には、定義済みの検査パラメータとレポート機能の包括的なライブラリが含まれており、お客様の特定のニーズに簡単に適応できます。KLA Surfscan SP3の革新的なハードウェアおよびソフトウェア機能により、お客様はリアルタイムでプロセスの傾向を監視し、コストのかかる遅延を回避できます。最後に、直感的で簡単に設定可能なグラフィカルユーザーインターフェイスにより、直感的で簡単に本番稼働を制御および管理できます。TENCOR Surfscan SP3はマスクおよびウェーハの点検の最先端であり、競争価格で信頼でき、正確な性能を提供します。驚異的な光学系と最先端のアルゴリズムにより、ハイエンド半導体およびマイクロエレクトロニクス業界にとって非常に貴重なツールです。この汎用性と費用対効果の高い検査資産は、あらゆるクリーンルーム設定に最適であり、集積回路の製造におけるプロセス欠陥を検出および分類する効率的で信頼性の高い方法を提供します。
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