中古 KLA / TENCOR Surfscan SP3 #293619782 を販売中

KLA/TENCOR Surfscan SP3は、最先端の自動マスクおよびウェーハ検査装置です。欠陥検出時間を短縮し、製造工程に組み込むことで、欠陥が生産に送られないように設計されています。広角高解像度カメラを搭載し、マスクやウエハの全景を撮影できます。自動化された高速ステッパーと組み合わせて、ワークの各領域を正確にスキャンします。カメラは、各領域の複数の画像を撮影し、欠陥を分析し、ユニットのデータベースの結果を追跡します。ソフトウェアアルゴリズムは既知の欠陥と比較し、リアルタイムの検査レポートを提供します。SP3マシンには、15ナノメートルの小さなナノスケールの欠陥を検出できる特許取得済みのビーム検査技術が含まれています。この技術は、より詳細な検査を可能にするためにマスクやウェーハのイメージを拡大し、結果の精度を高めます。このツールはまた、柔軟な欠陥分類設定を提供し、欠陥サイズ、向き、さまざまなタイプの欠陥の組み合わせなど、独自の欠陥分類基準を設定することができます。このアセットには直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスが装備されており、ソフトウェア設定にすばやくアクセスでき、ユーザーは必要に応じて設定をすばやく調整できます。また、自動校正および校正検証を提供し、検査時間を短縮し、精度を確保します。このモデルは、EUV、 OPC、 IR/NIR、およびSARBDなどのさまざまなプロトコルに準拠しています。KLA Surfscan SP3装置は、SEMI、 ITRS、 EUVなどのさまざまな業界標準を満たすように設計されており、半導体デバイスや光電子部品の製造に適しています。システムのメンテナンスが容易で、迅速なメンテナンスと修理を可能にし、生産をスムーズに進めることができます。このユニットは、経験豊富なテクニカルサポートスタッフによってサポートされており、必要に応じてリアルタイムでサポートを提供できます。