中古 KLA / TENCOR Surfscan SP3 #293594322 を販売中

KLA/TENCOR Surfscan SP3は、高解像度、高速半導体欠陥の検出と分類を提供するように設計された高度なマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、KLAの特許取得済みの反射イメージング技術に基づいており、半導体製造の厳しい要求に合わせて調整されています。SP3の強力なシリコンウェーハおよびフラットパネルマスク検査機能により、ウェーハステッパーとパターンジェネレータは、究極の品質と信頼性の製品を生産することができます。このユニットは、比類のない感度、精度、柔軟性を備えたマスクとウェーハの高度な検査を提供します。KLA Surfscan SP3は、強力な画像取得、画像処理、欠陥分類機能を兼ね備えています。QuadやReduction Variationsなどの高度な画像取得技術を搭載し、高い欠陥分解能と高度な表面イメージングを可能にします。TENCOR Surfscan SP3は、均一なピクセル位置のおかげで、高解像度の光学系、高いピクセル密度、デッドゾーンを備えていません。Surfscan SP3には、強力な検出アルゴリズムとインタラクティブな解析ツールも多数搭載されています。高度なアルゴリズムにより正確な分析が可能になり、インタラクティブツールセットを使用すると、検査結果をすばやく修正、カスタマイズ、検証できます。KLA/TENCOR Surfscan SP3は、シングルユーザー設定やより大きなマルチユーザーネットワークなど、複数のユーザー構成をサポートするように設計されています。このツールは、効率と生産性を向上させるために他のシステムと統合することもできます。KLA Surfscan SP3には、ハイエンドのパフォーマンスをさらに可能にする多数の高度なウエハコントロール機能が搭載されています。このアセットには、正確な測定とアライメントのための正確な段階と翻訳のハーフレチクル調整、および品質保証を強化するための高度なバッチ進捗レポートが含まれています。また、高速再現性を実現する自動パターンマッチング、ウェハフラット性を向上させる自動変形補正、優れた再現性とコスト効率を実現する専用レーザーソースも搭載しています。最後に、TENCOR Surfscan SP3は、検査シーケンスを簡単に制御し、結果を表示できるWebベースのGUIを備えています。GUIはまた、機器の機能、設定、レポートへの前例のないアクセスをユーザーに提供します。堅牢なレポートスイートにより、ユーザーはシステムパフォーマンスに関する情報と洞察にすばやくアクセスでき、Surfscan SP3はマスクおよびウェーハ検査のための強力で効率的なツールとなります。