中古 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #9398740 を販売中
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ID: 9398740
ヴィンテージ: 2011
Inspection system
Semi notch, 12"
Carrier:
(3) Load ports:
Phx
SHINKO
8-Configurable LED to display load ports
Load/unload button: Manual
Wafer cassette mapping: FOUP, 12"
Empty slots and cross slotted wafer
Vacuum load port: FIMS, 12"
Light tower (RBYGW)
Facilities:
CDA: > 28.3 NL/min, > 6.6791 kg/cm2
VAC: > 28.317 l/min, > -700 mm Hg
Edge exclusion, 2 mm
Oblique incidence illumination (High / Standard / Low)
Normal incidence illumination (Standard / Low)
XY Co-ordinates
IDM SP2
Standard classification package
LPD-N Classification
LPD-ES Classification
Grading and sorting
Spatial filter: 20°
Spatial filter: 40°
Spatial filter (Rough films)
Spatial filter (Back)
High sensitivity inspect mode
High throughput inspect mode
Haze
Haze normalization
Haze analysis
IC/OEM
Ethernet:
NFS Client
E84 enabled for OHT and AGV/RGV
E87 (Based on E39)
GEM/SECS and HSMS
E40 / E94 / E90 / E116
Main computer:
Intel Xeon CPU 3.20GHz
RAM: 3.5 GB
DVD-ROM
Mouse
Keyboard
Floppy Disk Drive (FDD), 3.5"
FEC Computer:
CPU: Intel Pentium 4
RAM: 512 MB
Operating system: Windows XP SP3
Power supply: 208 VAC, 3 W-N
2011 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP2は、自動ネットリストのパターン認識および欠陥管理アプリケーションで最高のパフォーマンスを提供するために開発された、最先端のマスクおよびウェハ検査装置です。表面条件と欠陥検出の包括的な制御を提供し、ウェーハの全体的な存在を監視し、微妙なプロファイルの変化を検出することができます。KLA Surfscan SP2は、高度な光学システムと革新的な画像処理技術を組み合わせることで、ユーザーはパターンの検査、欠陥の検出、不均一性の特定、および異常の分類を可能にし、表面状態を特徴付けることができます。TENCOR SURFSCAN SP 2は、要求の厳しい産業用半導体アプリケーションをサポートするために特別に設計された検査システムです。マルチレベルイメージング、バイナリゼーション、形状解析、カスタム光学フィルタの選択など、高度な機能を備えており、画像の鮮明性と文字認識を向上させます。これらのフィルタは、ウェーハ上の非常に小さなパターンを検出し、欠陥と不規則性の両方をスキャンし、変化する環境に合わせて調整可能です。また、表面パラメータを選択的に測定、検出、修正してウェーハの適切な成膜、マスキング、抵抗プロファイルを保証する高度なトップレベル品質管理機能を備えています。ガラス、アルミニウム、シリコン、石英など様々な材料で構成されたウェーハをスキャンして検査することができます。統合された5軸モーションコントロールツールは、サンプルをステージ上に正確に配置し、デバイスに直接スキャンすることができ、アライメントエラーと材料や製品の欠陥につながる可能性のあるヒューマンエラーを減らすことができます。また、ウェハマッピングを自動化し、各ウェハに詳細情報を保存し、他のアプリケーションが迅速にデータを取得できるようにするメモリとバッファを内蔵したさまざまなレベルの分析を提供します。さらに、このモデルの自動欠陥検出アルゴリズムは、人間の目で見るには小さすぎる欠陥を検出することができ、市場に参入する前に製品から欠陥を迅速に識別して除去するための効率的で強力なツールです。これにより、製造メーカーは生産プロセスを最適化し、製品が高水準の品質を満たすことができます。さらに、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと直感的なソフトウェアにより、検査機能を完全に制御し、検査データを迅速に確認、分析、修正できます。結論として、TENCOR Surfscan SP2は、マスクおよびウェーハの検査および欠陥管理のための高度で包括的な機器です。迅速なスキャン、正確な分析、および表面状態の広範な制御を提供し、製品の欠陥を迅速かつ効率的に効果的に検出および除去することができます。
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