中古 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #9314791 を販売中
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販売された
ID: 9314791
ウェーハサイズ: 12"
Inspection system, 12"
Scan module
Blower
Processor: 2.2 GHz
Operating system: Windows XP
Oblique incident
Edge cut: 2 mm
STD Throughput
Enhanced XY Co-ordinate
Defect classification: Slipline, Scratch and LPD-N
Haze normalization
Haze analysis
Optical filter
Space filter: 20°
Space filter: 40°
Space filter rough film
Options:
Part number / Description
0088725-000 / Normal incident
0088727-000 / High sensitivity mode
0088727800 / High throughput mode
0088732-000 / GEM/SECS
0088733-000 / HSMS
0088731-000 / NFS Client
0088737-000 / E84 Automation support, 12"
0088738-000 / E87 Automation support, 12"
0088739-000 / E40/E94/E90 Automation support, 12"
0088748-000 / LPD-E/S Classification
0088749-000 / Grading / Sorting
0088740-000 / Printer
J00012 / Printer rack
- / BSIM
- / Pato-light
Wafer thickness:
0.725 mm, 8"
0.775 mm, 12"
Sensitivity:
High sensitivity:
Oblique:
Wide: 37 nm
Narrow: 60 nm
Normal:
Wide: 61 nm
Narrow: 78 nm
STD Sensitivity:
Oblique:
Wide: 42 nm
Narrow: 70 nm
Normal:
Wide: 68 nm
Narrow: 83 nm
High throughput:
Oblique:
Wide: 47 nm
Narrow: 80 nm
Normal:
Wide: 72 nm
Narrow: 93 nm
Throughput:
High sensitivity mode:
Edge handling dual FIMS: 15 WPH
Vacuum chuck dual FIMS/Open: 24 WPH
Vacuum chuck 8": 40 WPH
Edge handling 4 x 8": 32 WPH
STD Mode:
Edge handling Dual FIMS: 30 WPH
Vacuum chuck Dual FIMS/Open: 49 WPH
Vacuum chuck, 8": 68 WPH
Edge handling 4 x 8": 55 WPH
High throughput mode:
Edge handling dual FIMS: 58 WPH
Vacuum chuck dual FIMS/Open: 75 WPH
Vacuum chuck, 8": 90 WPH
Edge handling 4 x 8": 80 WPH
Lighting smooth
DPSS Laser : 350 mW, 355 nm
Vacuum:
Scan module
Pressure: -24 ~ -30 Hg
Flow: 1 SCFM
FOUP Opener (Dual FIMS):
Pressure: -24 to -24 Hg
Flow: 1 SCFM
Compressed air:
Scan module
Pressure: 85-105 psi
Flow: 4 SCFM
Condensation: -29°
Edge end effecter:
Pressure: 90~120 psi
Wafer handling:
Edge handling
Vacuum chuck
Data output:
High resolution TFT color flat panel display
USB
Parallel port
Serial port
DVD+RW Drive
Floppy Disk Drive (FDD), 3.5"
Network connector: 10/100 Base-T
ISDN Connector
Voltage: AC 200 V±10%
Frequency: 50-60 Hz ± 5%
Power supply: 200 V, Single phase, 2.88 kVA.
KLA/TENCOR Surfscan SP2は、半導体チップの製造における品質と一貫性を確保するために使用される高度なマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、高解像度の画像検出ユニットを備えた明るいレーザー照明源を使用して、ウェーハ、マスク、およびレチクル上の特徴の画像を、以前のシステムでは見られない解像度でキャプチャします。KLA Surfscan SP2は、最高の精度と精度を確保するために、最も複雑なレチクル上の0。5ミクロンの許容差を測定し、従来の光学検査システムを超えて特徴サイズを検査することができます。このマシンは、特許取得済みの「レーザープラスシャッター」技術を使用して、目的の視野内でマスクまたはウェーハ上の最小の特徴の明確な画像を取得し、そのダイナミックレンズツールは、ユーザーがx128までの解像度を拡大することができます。さらに、アセットの高度な高感度画像処理技術により、55デシベルまでのあらゆるフィールドサイズの高精度な画像を得ることができます。TENCOR SURFSCAN SP 2は、ユーザーフレンドリーなインターフェイスとシンプルなセットアップと操作を可能にする直感的なグラフィカルコントロールを備えた、簡単な操作を念頭に置いて設計されています。これは、高速かつ正確な欠陥分離のためのフィードバック（FB）アルゴリズムと、従来の「プリントスルー」や「傷」などの困難な欠陥のための特許取得済みの欠陥分離技術を備えています。ユーザーの利便性のために、このモデルには、txt、 csv、 htmlファイルなどのさまざまなファイル形式でスキャンデータのレポートを生成する機能を備えたソフトウェアツールが付属しています。KLA SURFSCAN SP 2は、現場でのアップグレードが可能で、サービスサポートを最小限に抑えることができるコンパクトで完全に自動化された機器であり、重要なマスキングおよびウェーハ検査のニーズに最適です。品質重視の大量生産環境向けに設計されており、ソフトウェアとハードウェアの効率的な組み合わせにより、最高レベルの精度、信頼性、スピードを提供します。
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