中古 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #9260809 を販売中
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販売された
ID: 9260809
Inspection system, 12"
Missing parts:
Qty / Part number / Description
(1) / 0235019-000 / Laser head, UV, 355 nm, 350 mW, T sesam mo
(1) / 0094103-001 / FRU, DC Module assembly, PDU, SP2
(1) / 0261763-000 / Module, data acquisition, USB, MINILAB Ribbon
(1) / 0354464-000 / PCB Assembly PHX E84 4-ports
(1) / 0501328-000 / Front end controller kit
(1) / 0305125-000 / KIT, REV E Controller and cables, YASKAWA NXC100
(1) / 0259855-000 / FRU, L1A, L1B L1-L2 Assembly, EC, SP2
(1) / 0253452-002 / FRU, Attenuator assembly half-wave, EC, SP2
(1) / 0253457-000 / FRU, Fold mirror, 90°, incident, EC, SP2
(1) / 0333668-000 / PS With diode, UV Laser, J40 355 mW hybrid
(1) / 0253311-000 / Assembly, SERVO Mirror, SAPPHIRE, BSS, EC, SP2
(1) / 0216827-000 / PCB Assembly, GALIL M, configured, SP2
(2) / 0094104-000 / FRU, PCB Assembly, proc 3, INTRF 2, 8 x 512M, SP2
(2) / 0202919-002 / FRU, HD and Carrier, IDE 500GB configuration 1.0, SP
(2) / 0253456-000 / FRU, Mirror, Pick-Off, QC1, EC, SP2
(1) / 0023892-000 / Chuck, 8"/12", vacuum, SP1
(1) / 0123546-000 / Fan filter HI capacity, SP2
(1) / 0214551-001 / FRU, PMT Assembly, single, dark field, SP2
(1) / 0094100-000 / FRU, Assembly, fast laser shutter, SP2
(1) / 0214544-001 / FRU, Shutter assembly, laser, beam steering, SP2
(1) / 0253458-001 / FRU, Rotator assembly, half-wave, EC, SP2
(1) / 0253755-001 / FRU, BSC Assembly, NRML/OBL CHNL, EC, SP2
(1) / 0065575-000 / CBL, MTR DR Board to MSK CH Distribution board
(1) / 0128468-000 / Assembly, NODE, CPU, ISO port
(1) / 0354464-000 / PCB Assembly PHX E84 4-Ports
2004 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP2は、フル機能の自動マスクおよびウェーハ検査装置です。欠陥検査や認定など、さまざまな種類のマスクやウエハ検査を行うことができます。ダイウエハからフルウエハまで、幅広いウエハサイズの検査が可能です。柔軟性と拡張性を兼ね備えた設計で、ユーザーは正確なニーズに合わせてユニットをカスタマイズできます。KLA Surfscan SP2は、KLA独自のBrightfield、 Darkfield、 Contrast Inspection技術を使用して、今日利用可能な最高レベルの欠陥検出を実現しています。この高度な技術により、マシンは0。1umの小さな欠陥を検出することができます。このツールは、さまざまなコントラストモードを選択でき、異なる欠陥タイプを区別したり、弱いパターン化された領域を特定したりできます。資産は2つのCCDを使用して動作します。5。6メガピクセルのフィールドカメラと1280 x 800メガピクセルのウェハカメラ。フィールドカメラを使用してマスクを検査し、ウエハカメラを使用してウエハを検査します。2つのCCDとTENCOR独自の検査アルゴリズムを組み合わせることで、ウェハ全体の欠陥を迅速かつ正確に検出できます。TENCOR SURFSCAN SP 2には、検査プロセス中にウェーハとマスクが正確に揃うようにウェーハブルーのアライメント装置が装備されています。さらに、このシステムは調整可能な検査パラメータを備えており、ユーザーは検査を特定のニーズに合わせて調整することができます。KLA/TENCOR SURFSCAN SP 2は、オンボードデータキャプチャ機能も提供します。これにより、ユーザーはさらなる分析のために検査データをキャプチャしてレビューすることができます。また、高速処理機を搭載しており、競合システムよりも最大5倍の高速処理が可能です。Surfscan SP2は、高度で自動化されたマスクおよびウェーハ検査アセットで、マスクおよびウェーハ欠陥の検出および認定に強力な機能を提供します。5。6メガピクセルのフィールドカメラ、1280x800メガピクセルウェハカメラ、調整可能な検査パラメータ、およびオンボードデータキャプチャ機能により、比類のないレベルの柔軟性とパフォーマンスを提供します。TENCOR Surfscan SP2は、大量の高歩留まり欠陥検査に最適なモデルです。
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