中古 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #9240763 を販売中

KLA/TENCOR Surfscan SP2は、マスクとウェーハの両方の不要な欠陥を検出および修正するために使用されるマスクおよびウェーハ検査装置です。KLA Surfscan SP2は、光学部品、電気部品、機械部品を使用して、さまざまなウエハータイプの欠陥を検出および修正します。光学検査には、あらゆる欠陥を正確に検出するための明るいフィールドと暗いフィールドの両方のイメージングが含まれています。電気的特徴は、抵抗、静電容量、電流などの電気特性を測定するために接触法および非接触法を利用します。機械的な特徴により、TENCOR SURFSCAN SP 2はウェーハを検査しながら正確な動きや調整のために方向を変更できます。KLA/TENCOR SURFSCAN SP 2には、ウエハーを検査し、潜在的な欠陥を特定して特定するためのフォーカスバリエーションや画像処理などの技術が統合されています。フォーカスバリエーションはウェーハの立体的な視野を提供し、サブミクロン欠陥を正確に検出することができます。イメージングサブシステムは、正確で高解像度のCCDカメラを使用してウェーハの画像をキャプチャし、さらなる分析を行います。KLA SURFSCAN SP 2には、検査ごとにデータを分析し、結果を読みやすい形式で表示するための高度なソフトウェアもあります。ソフトウェアは、ユーザーがフィルタリングし、ウェーハ上に存在する特定の欠陥を識別することができるツールのシリーズを持っています。このユニットにはオートスケジューリング機能も内蔵されており、さまざまなウエハの種類や動作の定期的な検査を設定することができます。さらに、Surfscan SP2は利便性と安全性を念頭に設計されています。自動化された機械を備えており、セットアップと使用が容易です。このツールは高度にカスタマイズ可能で、ユーザーは特定の要件に応じてパラメータを調整することができます。この資産には、安全な動作環境を確保するために、キーロックや緊急停止スイッチなどのいくつかの安全機能も装備されています。全体として、TENCOR Surfscan SP2は、ウェーハを検査し、不要な欠陥を検出して修正するために設計された汎用性の高いモデルです。光学部品、電気部品、機械部品を搭載し、さまざまなウエハータイプのサブミクロン欠陥を正確に検出することができます。高度なソフトウェアはまた、ユーザーが迅速に欠陥を識別するためにデータをフィルタリングし、分析することができます。自動化された機能と安全機能を備えたSURFSCAN SP 2は、効率的で安全なマスクおよびウェーハ検査システムを提供します。