中古 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293814524 を販売中

KLA/TENCOR Surfscan SP2は、精密マスクおよびウェーハ検査装置です。最新の自動欠陥検出および分類技術を提供し、複雑なチップ構造と最新の高度なパッケージングの両方を検査するための理想的なソリューションです。KLA Surfscan SP2は、マスク、ウェーハ、柔軟なカプセル化デバイス、MEMS、 SOI、およびBSIに最適化されたパラメータで動作します。このシステムは、すべてのタイプの集積回路（IC）コンポーネントの欠陥を排除するように設計された、完全に自動化された自己完結型のマスクおよびウェハ検査ユニットです。最小限の欠陥でも正確にスキャンして検出できる高度なイメージングおよび欠陥認識技術を備えています。このマシンの精度は99。6％を超え、超低電圧レベルでも最高品質の製品を保証します。TENCOR SURFSCAN SP 2には、多次元の分光検出アーキテクチャが搭載されており、高度な画像処理アルゴリズムと組み合わせて欠陥を迅速に検出します。このツールには、超広い信号対ノイズ最適化アーキテクチャを含む5つの専用ハードウェアアクセラレータも装備されています。これにより、結果の精度を犠牲にすることなく、高密度レイアウトを効率的に検査することができます。また、高度なプロセスインターフェイスを備えており、検査プロセスを特定の要件に合わせてカスタマイズすることができます。追加の機能には、カスタマイズ可能な欠陥分類とクイック機器ジョブ、および自動固定照明とフォトマスクのアライメントが含まれ、ウェーハのアライメントが容易になります。Surfscan SP2は、Siverlight™、 CoDash™、 ProOctant™、およびさまざまな画像強化ツールなどの他のKLA製品およびソフトウェアソリューションと効率的に統合されています。これにより、ユーザーは、TENCORエンドツーエンドの品質ソリューションによって提供される検査機能の完全な範囲を利用することができます。全体的なシステム設計には、高精度、高性能、およびスループット向上を提供するための多くの機能と技術が組み込まれています。堅牢な人間工学的構造により、KLA SURFSCAN SP 2は多くの高度な半導体検査タスクに適しています。