中古 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293814035 を販売中

KLA/TENCOR Surfscan SP2は、SEMベースのマスクおよびウェーハ検査装置です。フロントエンドマスクやウェーハの自動検査用に開発された、コンパクトでメンテナンスフリーなシステムです。KLA Surfscan SP2には洗練されたイメージングユニットが装備されており、最も複雑なマスクやウェーハ構造の高品質な画像を生成することができます。本機は、単色電界放射走査型電子顕微鏡（FE-SEM）、低温試料ステージ、および試験片の正確な位置決めのための電動XYZステージで構成されています。FE-SEMは0。2nmの分解能で動作し、4nmの構造を検出することができます。統合された自動測定および分析ソフトウェアにより、ユーザーは個々の層から情報にアクセスすることができ、サンプルの品質を評価するプロセスに役立ちます。さらに、TENCOR SURFSCAN SP 2は、ビーム電流と冷却ツールを正確に制御し、サンプルを損傷から保護します。Surfscan SP2には直感的なユーザーインターフェイスがあり、マニュアルを参照せずに素早く簡単にセットアップして検査を開始できます。さらに、この資産は、結果の正確性を確保するための信頼性と再現性のあるパフォーマンスを提供します。さらに、TENCOR Surfscan SP2は、サンプルを検査するための高速で信頼性の高いプロセスを提供します。自動化されたフォーカスフィードバックループを使用することで、モデルはフォーカスを素早く調整し、正確な結果を得ることができます。この機器には、欠陥レビュー、データエクスポート、レビューデータベース管理、プロセス制御など、さまざまな拡張機能が用意されています。KLA SURFSCAN SP 2は、マスク検査、ウェハレビュー、回路レイアウト検証、リソグラフィーシミュレーション、オーバーレイ解析、プロセス制御、故障解析など、幅広い半導体アプリケーションに最適です。PDK、 BiCMOS、 DRAMなどのさまざまな技術をサポートし、複数の構造を検査するために使用できます。このシステムはAutoAdjustを統合することができます。このツールは、自動フィーチャー測定や欠陥レポートに使用される強力なルールベースのツールです。また、欠陥分類やウェーハ計測にも使用できます。全体として、SURFSCAN SP 2は、最も複雑な分析を実行できる信頼性の高い効率的なマスクおよびウェーハ検査ユニットです。その高度な機能と機能は、すべての半導体産業にとって理想的な選択肢です。