中古 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293807608 を販売中

KLA/TENCOR Surfscan SP2は、ウェーハ製造および半導体デバイス製造プロセス向けに特別に設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。この高度なシステムにより、製造メーカーは、高いスループットレートでマスクとウェーハを検査し、ウェーハ製造またはデバイス製造時に微細な欠陥を検出することができます。KLA Surfscan SP2は、明るいフィールドと暗いフィールドのイメージング技術を備えているため、ウェーハ上に存在する最も小さな欠陥を検出することができます。これらの欠陥は、ピンホール、傷、粒子から突起、マーク、歪みまでさまざまです。さらに、このユニットは、異物の蓄積、汚れ、およびエッチング前の損傷の領域のようなウェーハ上の他の不規則性を検出することができます。このマシンには、検出された欠陥を高精度で識別および分類できる特殊な画像解析機能も含まれています。TENCOR SURFSCAN SP 2は、オペレータが操作を管理しやすくするための直感的なユーザーインターフェイスを備えています。このデバイスは21インチの大型HDタッチスクリーンパネルを備えており、ユーザーが簡単に検査パラメータを設定できるように設計されています。工具の接触位置精度は非常に良好で、解像度は0。5 μ mで、最小のダイサイズでも検査に適しています。最新の省電力技術を搭載しているため、TENCOR Surfscan SP2も非常に信頼性があります。このアセットは、使用後にスタンバイ状態に自動的にパワーダウンし、必要に応じてのみ再起動することでこれを実現します。これにより、メーカーはエネルギーコストを削減し、モデルの寿命を延ばすことができます。また、幅広い用途向けに設計されており、SEMI品質システム規格に準拠しています。Surfscan SP2は、高い精度でウェーハやマスクを検査し、エネルギー消費を削減したいメーカーにとって理想的な選択肢です。このユニットの高性能は、信頼性の高い効率的なマシンを探しているメーカーにとって、ウェーハとマスクを検査するのに理想的な選択肢です。