中古 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293806298 を販売中
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KLA/TENCOR Surfscan SP2は、マスクおよびウェーハの欠陥を検出および分類するために設計された自動マスクおよびウェーハ検査装置です。光学スキャンとマイクロメカニカルスキャンの両方の技術を利用して欠陥を特定し識別する高精度マシンです。このシステムは完全に自動化された自己完結型ワークステーションであり、堅牢で信頼性の高い欠陥検査を提供します。デジタルイメージング技術を使用して、さまざまな角度で画像をキャプチャし、レーザーベースのマイクロ欠陥検出技術でマスクやウェーハの欠陥を検出します。ユニット内の高度なプロセッサは、均一な構造と欠陥を区別することができ、高精度で非常に小さな欠陥を検出することができます。KLA Surfscan SP2は、パターン化された機能を含むウエハの欠陥を検出することもできます。専用カメラ、顕微鏡レンズ、光源を搭載し、高解像度の画像を撮影できます。特許取得済みの光学アセンブリは、複数の角度から光を収集して、ウェーハ表面の詳細な3Dマップを生成します。この情報は、欠陥の検出、分類、測定に使用されます。このツールには、分析、レポート、および接続オプションの広い範囲を提供するソフトウェアも含まれています。データ転送が可能で、スキャナ、X線マシン、ウェハマッピングシステムなどの多数のデバイスに接続できます。高度な分析とレポート機能により、ユーザーは結果データを表示し、レポートを生成できます。TENCOR SURFSCAN SP 2は、欠陥検出と分類における最大の効率と精度を提供するように設計されています。使いやすく、生産のサイクルタイムを短縮するのに役立ちます。アセットは信頼性と再現性の高い結果を提供し、マスクとウェーハ製品が最高水準を満たしていることを保証します。
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