中古 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293769272 を販売中

KLA/TENCOR Surfscan SP2は、集積回路の電気的性能を損なう可能性のある微小欠陥を検出するために使用されるマスクおよびウェハ検査装置です。この高度なシステムは、高度な光学系を使用してマスクまたはウェーハの表面全体を視覚的に検査し、可能な限り最高の解像度で欠陥を検索します。KLA Surfscan SP2は、包括的な検査技術を備えています。これには、光学的欠陥検出、臨界寸法スキャン、レチクル残留検出、および接続検出が含まれます。1時間あたり最大15個の検査速度を備え、0。0014ミクロンまでの解像度で正確なデータを提供します。SP2ユニットは、画質の歪みを解消する革新的な5位置機構を備えた洗練された対物レンズを採用しています。また、汚染されたウェーハや傷の付いたウェーハを迅速かつ正確に識別および除去するための多次元選択可能なアルファ数値機能を備えています。TENCOR SURFSCAN SP 2は使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを備えているため、オペレータはパラメーターをすばやく選択し、ジョブごとにマシンをカスタマイズできます。自動化機能により、操作が簡素化され、セットアップにかかる時間が短縮され、ヒューマンエラーの可能性が低減されます。ツールによって生成された詳細なデータは、オプションのSurfStatデータ解析パッケージにインポートすることができ、ユーザーは顕微鏡的欠陥を迅速かつ正確に識別してトラブルシューティングすることができます。この資産は高精度で柔軟性があり、品質管理やその他のプロセス管理アプリケーションに最適です。KLA/TENCOR SURFSCAN SP 2は、マスクおよびウェーハ検査のための高度な技術であり、最も要求の厳しいアプリケーションに最適です。優れた可視性と解像度、操作性とデータ管理の容易さを兼ね備えたモデルは、欠陥解析と予防保守のための理想的なツールとなります。