中古 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293759533 を販売中
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ID: 293759533
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2010
Inspection system, 12"
EFEM
Carrier:
(3) Advantage SW CID, Phx, Shinko (Load port)
8 User-configurable LEDs to display the load port status
Load / Unload button for manual delivery hand-off
Cassette / Wafer mapping: FOUP and detect wafer
Empty slots and cross-slotted wafer
Chamber:
Powder coat panels kit: 8"-12"
Vacuum option optical filter
Load port vacuum: Tripple, 12"
FIMS Application:
Edge exclusion: 2 mm
Oblique incidence illumination (High / Standard / Low)
Normal incident illumination (High / Standard / Low)
Enhanced XY Coordinates
IDM SP2
PC:
Processer: Intel Xeon CPU 3.20 GHz
Handler: SecondaryUI, Phoenix, SP2
RAM Memory: 3.5 GB
DVD-ROM
Mouse
Keyboard
3.5" Floppy
Facilities:
CDA: > 28.3 Nl/min, > 6.6791 kg/cm2
VAC: > 28.317 l/min, >-700 mm Hg
Power supply: 208 VAC, 3 W-N
2010 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP2は、半導体産業で欠陥を検出し、製造工程でフォトマスクやウェーハの品質を確保するために使用される最先端のマスクおよびウェーハ検査装置です。この革新的なシステムは、高度な技術と高精度を組み合わせて徹底した検査機能を提供し、半導体メーカーは高収量の生産を維持し、厳しい品質基準を満たすことができます。KLA Surfscan SP2ユニットの中核となるのは、高度な光学系やセンサーを駆使してマスクやウェーハの表面を高解像度で撮影する高度なイメージング技術です。これらの画像は、強力なアルゴリズムとソフトウェアを使用して分析され、粒子、パターン偏差、および半導体デバイスの性能と信頼性に影響を与える可能性のあるその他の異常などのさまざまな種類の欠陥を検出および分類します。TENCOR SURFSCAN SP 2の主な特徴の1つは、マスクとウェーハを微細なレベルで検査し、最小の欠陥でも正確に識別および分類できることです。この精度は、回路パターンのサイズと密度が縮小し続ける半導体業界において重要であり、従来の検査方法で欠陥を検出することはますます困難になっています。SURFSCAN SP 2には複数の検査モードが装備されており、製造プロセスの特定の要件に基づいて検査プロセスをカスタマイズできます。これらのモードには、ブライトフィールド、ダークフィールド、およびハイブリッドイメージングモードが含まれ、それぞれがさまざまなタイプの欠陥を検出し、検査性能を最適化する独自の機能を提供します。さらに、Surfscan SP2はユーザーフレンドリーなインターフェースを備えているため、オペレータは検査を効率的に設定および実行し、検査プロセスを合理化し、生産のダウンタイムを最小限に抑えることができます。また、自動欠陥レビューと分類機能を備えているため、ユーザーは手動で介入することなく欠陥をすばやく特定して分析することができ、生産性と歩留まりをさらに向上させることができます。欠陥検出に加えて、TENCOR Surfscan SP2は重要な寸法測定を行うことができ、マスクやウェーハ上のフィーチャーのサイズと形状に関する貴重なデータを提供します。この情報は、半導体デバイスの正確性を確保し、製造におけるプロセス制御を維持するために不可欠です。全体として、KLA/TENCOR SURFSCAN SP 2は、欠陥を検出し、半導体デバイスの品質を確保し、半導体産業の生産効率を向上させるための比類のない機能を提供する最先端のマスクおよびウェハ検査ツールです。その先進的なイメージング技術、複数の検査モード、ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、半導体メーカーはプロセスの高い歩留まりと信頼性を達成するための強力なツールとなっています。
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