中古 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293745400 を販売中

KLA/TENCOR Surfscan SP2は、動的および欠陥検出アプリケーション用に設計された高性能マスクおよびウェーハ検査装置です。革新的な設計を採用したこのシステムは、高度なイメージング、測定、欠陥検出技術を組み合わせて、製造メーカーが欠陥を正確に特定し、部品品質管理ソリューションを提供するのに役立ちます。検査装置には、高速カラーCCD画像取得機が搭載されており、毎秒300ピクセルまでのデータ取得で、マスクやウェーハ機能の高速撮影が可能です。このツールはまた、最適な検査パフォーマンスを可能にする自動クリーニングツールのスイートを提供します。この資産はまた、粒子の汚染、重大な次元の欠陥、およびサブピクセルの欠陥を含むサブミクロンの欠陥を検出することができます。領域ごとに最大4倍の解像度を持つイメージングセンサーは、拡張、収縮、コントラスト制御機能を備えているため、さまざまなマスクやウエハータイプに合わせてイメージングパラメータを調整できます。このモデルの強力な欠陥検出アルゴリズムは、プリントオーバーレイ、粒子の汚染、重大な寸法の欠陥など、さまざまな種類の欠陥を識別するように設計されています。このアルゴリズムは、三角形の欠陥、解像度の要件、塗料の欠陥などの可能性のある異常を検出することもできます。さらに、装置には独自のレーザーアライメントツールが装備されており、画像を材料ジオメトリに調整および整列させ、検出精度を向上させます。また、KLA Surfscan SP2は、さまざまな材料条件や構成をシミュレートし、潜在的な欠陥を特定するために結果を適用するために使用できる高感度の欠陥検出ラボを備えています。このシステムには、特定のツールや機能に簡単にアクセスできるカスタムツールバー、トラブルシューティングを容易にするための統合診断ツール、アプリケーションのナビゲートを容易にする直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）など、多くのユーザーフレンドリーな機能も含まれています。さらに、このユニットは無制限の顧客アカウント管理機能を提供しているため、ユーザーは作業を節約し、いつでもプロジェクトに素早くアクセスできます。TENCOR SURFSCAN SP 2は、メーカーが欠陥を迅速かつ正確に特定し、解決するために設計された強力な検査機です。その強力なハードウェアと直感的なソフトウェアは、さまざまなマスクおよびウェーハ検査ニーズに最適なソリューションです。