中古 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293624108 を販売中

KLA/TENCOR Surfscan SP2は、マスクとウェーハを迅速かつ正確に検査するために設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、高度な光学系とソフトウェアを使用して、ウェーハエッジやその他の機能を検査し、均一性と形状を確認します。自動化されたパレットは、ウェーハの取り扱いと搬送を可能にし、ユニークなキャリブレーションユニットを備えています。また、業界標準のマスクからウェーハへの転送もサポートしているため、大量のマスクを使用する場合に最適な操作が可能です。このツールの光学サブシステムは、空冷のパルスキセノン照明源とスキャンされたCCDカメラで構成される2段階の構成です。アセットの光学系は、マスク表面とウェーハ表面の両方の高解像度画像を提供するように設計されています。照明設計は、ディフューザーと狭角マスキングモデルを使用して均一な照明を確保し、選択可能な反射防止フィルターは正しい照明角度を保証します。この機器のソフトウェアスイートは、マスクとウェーハの両方の欠陥を検出、分析、グレード化するように設計されています。KLA Surfscan SP2は、一連のアルゴリズムを使用して、粒子、腐食、傷、歪みなどのさまざまな欠陥を検出してグレード付けします。このシステムでは、セットポイントアクションをカスタマイズするための欠陥ツールボックスと、マスクおよびウェーハ検査プロセスの傾向を分析するための統計プロセス制御（SPC）も提供しています。TENCOR SURFSCAN SP 2ユニットは、さまざまなアプリケーションのニーズに対応する拡張性と柔軟性を提供します。調節可能な光学機械はユーザーが視野を調節することを可能にし、小さいおよび大きい表面の特徴の検出そして点検を可能にします。このツールには、ウェーハエッジ判定アセットも含まれており、ウェーハを検査用に配置する際にさらなる精度の層を提供します。SURFSCAN SP 2は、高度なマスクおよびウェーハ検査モデルです。その先進的な光学系、ソフトウェアスイート、スケーラビリティにより、マスクおよびウェハ検査アプリケーションに最適なソリューションです。優れた設計により、様々な欠陥を迅速かつ正確に検出し、評価することができ、信頼性の高い正確な検査結果をユーザーに提供します。