中古 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293606549 を販売中

KLA/TENCOR Surfscan SP2は、KLA株式会社の高度な自動マスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、高度な電子デバイスの製造における各ステップが可能な限り完璧に近づくように設計されており、非常に敏感で複雑な部品に最高の精度を提供します。ユニットの中核となるのは、ナノメートルレベルまでのパターンの欠陥を検出するための高度な2次元イメージング技術を使用したProTEGソフトウェアです。マルチチャンネルスペクトルイメージング（MCSI）技術は、複数のスペクトルバンドを使用して、従来の光学系の限界を超えた欠陥を検出します。これは高度なパターン認識アルゴリズムと連携して、見逃したり検出されなかったりする最も困難な欠陥を検出します。この技術を使用して、SP2はまた、オーバーレイ、臨界寸法（CD）、および電気的欠陥の自動検査を行います。特許取得済みのDarkfield Illumination （DFI）技術により、回路パターンにおける極めて暗くて狭い特徴を検出できます。導電率と抵抗性を分析することにより、SP2はブリッジ、ショート、開放回路などの潜在的な電気的欠陥を識別することができます。SP2には、ScanEtch Plus （SEP）やWafer Edge Inspect （WEI）など、さまざまなウェーハ検査およびマスク検査機能が搭載されています。SEPは、クリティカル基板および非クリティカル基板の処理を改善するための統合された多基板許容量です。ウェーハの計測や、傷や汚染などのさまざまな欠陥を検査します。コンポーネントを超えて、SP2には内蔵のユーザーインターフェイスが装備されており、機械の直感的な制御、監視、およびセットアップを提供します。ユーザーインターフェイスにより、ツール内のマスクおよびウェーハ検査戦略のカスタマイズや、さまざまな外部サードパーティ製オートメーションシステムの統合も可能になります。要するに、KLA Surfscan SP2は、最先端の自動マスクおよびウェーハ検査ソリューションをユーザーに提供します。その革新的な機能と機能の範囲は、さまざまな頑丈で精密な製造環境に最適です。