中古 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293602599 を販売中

KLA/TENCOR Surfscan SP2は、高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。KLA Surfscan SP2は、デバイス製造プロセスの初期段階で欠陥を特定するための強力なツールであり、より高価な処理が行われる前に是正措置を講じることができます。TENCOR SURFSCAN SP 2の高度なイメージング技術、照明、計算強度の高い検出および解析アルゴリズムにより、肉眼で見るには小さすぎる欠陥を検出したり、他の機能によって隠れたりする可能性があります。これにより、オペレータは、従来の光学的、電気的、または音響的方法で欠落した不具合を含む不具合を正確に特定することができます。KLA/TENCOR SURFSCAN SP 2には、明るい視野と偏光の両方の画像処理技術を使用して、高度な視覚検査に必要な詳細レベルを提供するイメージングシステムが装備されています。最大3.2µm枚の画像解像度を実現し、わかりやすく解釈しやすいイラストを提供します。さらに、オペレータがウェーハまたはマスクの両側の特徴を測定し、比較し、分析することを可能にするソフトウェアツールのスイートとともに、ウェーハとマスク検査ライトを組み込んでいます。KLA SURFSCAN SP 2のSPIアルゴリズムは、さまざまな選択可能な照明設定と相まって、様々なサイズのエッジ、コーナー、ライン欠陥を検出するのに役立ちます。SPIはローカライズされた画像解析と測定を可能にし、設定は各デバイスの特定の要件に合わせて機械を調整する柔軟性を提供します。ウェーハとマスクの検査プロセスは、データ収集と分析を簡素化するさまざまな自動化プロセスによってさらに強化されています。このツールは、データ分析とデバイス検査のためのテンプレート形式に自動的に従うように設定できます。これには、検査に最適なセクションを選択する方法、最も適切な検査設定を設定する方法、オペレータに欠陥を通知する方法などがあります。また、SURFSCAN SP 2は、オンラインシステムを介してデータの転送と保存を容易にし、複数のデバイスからの結果を迅速に照合および比較することができます。最後に、この資産は業界標準のマスクおよびウェーハ生産システムと完全に互換性があり、既存の生産プロセスに容易に統合できます。全体として、Surfscan SP2は、デバイス製造プロセスの初期段階で欠陥を特定するための優れたツールです。高度なイメージング技術と正確な欠陥検出機能により、オペレータはウェーハやマスクを迅速かつ効率的に検査するための貴重なツールを提供します。