中古 KLA / TENCOR Surfscan SP2 XP #9221536 を販売中
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販売された
ID: 9221536
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
Particle measurement system, 12"
Sensitivity modes:
Standard throughput inspection mode
High throughput inspection mode
High sensitivity inspection mode
Advanced illumination optics supporting the following mode(s):
Normal illumination
Oblique illumination
Includes:
UV Laser
Defect map and histogram with zoom
iMicroView measurement capability
SURFimage
Real-time defect classification (RTDC)
Microsoft Windows XP operating system
Book on board
Soft copy of operations manuals
Puck handling: 8"/12"
Equipped with powder coat painted panels
12" Phoenix dual FIMS vacuum wafer handler (PP) included
Secondary UI for bulkhead installation
Configured for MCCB (US/EU) power inlet
Configured for IC/OEM Mfg surf quality recipe
STD Throughput inspection mode
High throughput inspect mode
Optical filter
Enhanced XY coordinates enabled:
Standard classification
LPD-N classification
LPD-ES classification
Grading and sorting
20°
40°
Rough films
Haze enabled
Haze normalization enabled
Haze analysis enabled
Haze line classification enabled
IDM SP2
2mm Edge exclusion
4 Color light tower (RYGB)
GEM / SECS & HSMS
T System (High speed messaging system)
E87 Carrier management services (Based on E39)
Based on E39 object services
E40 Process job management
E94 Control job management
E90 Substrate
Tracking
(2) AdvanTag radio frequency (RF) carrier ID readers
Identifies the name of the carrier (FOUP)
Intended for use with phoenix handler and Isoport load ports
One reader required for each FOUP load port
2006 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP2 XPは、高精度、高精度のマスク検査およびウェハ表面特性評価用に設計された高度なウェハ検査装置です。アダプティブオプティクス、低ノイズイメージング、自動測定アルゴリズム、強力な計算能力を組み合わせて、ウェハの特性評価と欠陥解析のための包括的なプラットフォームを提供します。KLA Surfscan SP2 XPは、最大12mmの広い視野（FOV）と1µmよりも優れた高い光学分解能を備えており、サブミクロン欠陥を正確に測定することができます。1分間に最大150枚のウェーハイメージを分析することができ、タイトなスポット検出、エリアスキャン、データ駆動フィルタリング、ピクセル解析を組み合わせた自動測定が可能です。画像融合技術を内蔵しているため、複数のセンサのデータを正確に比較することができ、高い精度が得られます。イメージングソフトウェアの改良、高度な画像解析ライブラリ、強力なハードウェア設計により、ウェーハ表面の汚れ、欠陥、変動を効果的に検出することができます。また、赤外線、可視光、紫外線（UV）スペクトルのいずれかで動作するように調整できる光源を備えており、高い反射面だけでなく、埋め込まれた特徴を検査することができます。このマシンのマルチレベル欠陥検出および解析機能により、粒子汚染物質を検出するだけでなく、その組成、サイズ、形状、および向きを評価することができます。さらに、TENCOR Surfscan SP2 XPは、リアルタイムのウェーハ欠陥情報を提供する自動インライン処理およびレポート作成ツールを備えています。データ分析およびレポーティングツールは、歩留まりを改善するために、ユーザーが障害の傾向を迅速に特定し、積極的な対策を講じるのに役立ちます。高度なイメージング、高解像度測定、堅牢なハードウェア設計により、Surfscan SP2 XPはマスク検査およびウェーハ表面特性評価に最適なプラットフォームです。半導体製造、パッケージング、フラットパネルディスプレイ業界に適しており、高スループット、高精度ウェーハおよびマスク検査用の完全なソリューションを提供します。
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