中古 KLA / TENCOR Surfscan SP2 XP #9215848 を販売中
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KLA/TENCOR Surfscan SP2 XPは、高度な画像処理アルゴリズムを使用して優れた画質と精度を提供するマスクおよびウェハ検査装置です。他のマスクやウェハ検査システムでは容易には検出できない欠陥、汚染物質などの欠陥を検出するように設計されています。300mmおよび200mm径のマスクおよびウェーハの両方を検査するように設計されており、迅速かつ正確なイメージング機能を可能にします。KLA Surfscan SP2 XPは、モノクロキセノン光源と狭いスペクトル水銀光源の2つの光源を利用して、システムが幅広い欠陥、汚染物質、およびその他の不要な欠陥を検出することができます。このユニットは、ウェーハまたはマスクの明るい領域と暗い領域の両方の欠陥を検出することもできます。さらに、機械の解像度と信号対ノイズ比を調整して、より高精度なイメージングを実現します。TENCOR Surfscan SP2 XPには、高効率でよく設計された光学ツールがあります。キセノン光源用と水銀光源用の2つの独立した光路が含まれています。また、高度なイメージングプロセッサとソフトウェアを備えており、迅速かつ効率的な欠陥および粒子検出を可能にします。このモデルは、広い焦点の深さを持っているため、大小の構造の両方に適しています。Surfscan SP2 XPには真空チャックが内蔵されており、マスクやウェーハを簡単かつ安全に配置できます。また、さまざまな画像キャプチャオプションを提供しており、サイドバイサイド比較またはフルフィールドイメージング、および関心のある領域を定義する機能を提供します。機器の柔軟性と使いやすさは、迅速かつ簡単なセットアップと使用を可能にします。さらに、その高度なソフトウェアは、システムをオートメーションで特に効率的にします。このユニットは、製造環境で既存のイメージング機器と統合するように設計されており、完全なインライン検査プロセスを可能にします。KLA/TENCOR Surfscan SP2 XPは、高度な画像処理アルゴリズムにより優れた性能と信頼性を提供し、幅広い欠陥、汚染物質、その他の不要な機能を検出することができます。その高度な光学マシンと画像プロセッサは、最高レベルの画像品質と、効率的で正確な検査を保証するための柔軟性と使いやすさを提供します。優れたイメージング機能を備えたKLA Surfscan SP2 XPは、マスクおよびウェーハ製品の品質と信頼性を確保するために不可欠なツールです。
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