中古 KLA / TENCOR Surfscan SP1-TBI #293814743 を販売中

KLA/TENCOR Surfscan SP1-TBIは、集積回路（IC）アセンブリの製造に使用される半導体ウェーハおよびマスクの品質を検査するために設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、高度な光学技術と高速イメージング技術とともに、独自の超精密目的を使用して、ウェーハまたはマスク材料の重要な層における小さな欠陥や不純物を検出します。KLA Surfscan SP1-TBIは、手動のスポットチェックを必要とせずに、ウェーハやマスクを迅速かつ正確に検査します。このユニットは、ウェーハ全体またはマスクを自動的にスキャンして欠陥を検出し、0。5ミクロンの最小サイズまで個々の特徴を分離および測定できます。Surfscanは、手動検査手順に関連する人為的なエラーを回避し、ウェーハまたはマスクの処理コストを2時間から10分に削減します。精密ロボットステージを内蔵しており、ウェハに直接取り付け、高解像度検査を目的としています。工具の光学系は0。5ミクロンまでの最小分解能を持ち、それによって他の光学検査システムでは見られない欠陥を検出します。さらに、この資産には、量的測定に基づいて欠陥を3つのカテゴリに分類および分類するのに役立つ統合パーティクルカウンタが装備されています。TENCOR Surfscan SP1-TBIは統合された暗室を含む多くの付加的な特徴を提供します、それはオペレータが紫外線の下でウエファーかマスクを見ることを可能にします；これは、可視スペクトルに見えない小さな傷や粒子を検出するのに役立ちます。このモデルには校正モジュールも搭載されており、各検査の前に光学系を完全に校正および整合させることができます。全体的に、Surfscan SP1-TBIは、ウェーハおよびマスクを高速で検査できる高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。極めて精密な光学技術と高度なイメージング技術を活用して、材料層の小さな欠陥や不純物を検出し、時間のかかる手動チェックを大幅に削減し、高精度な結果を提供することができます。