中古 KLA / TENCOR Surfscan SP1 Classic #9410848 を販売中

KLA/TENCOR SP1 Classicは、半導体デバイス製造における重要なプロセス工程のプロセス制御、歩留まり改善、欠陥監視用に設計された、普遍的かつ高精度のマスク&ウェハ検査装置です。このシステムは、歩留まり、プロセスのパフォーマンス、歩留まりの傾向を高速かつ自動化したデータ駆動型ランタイム分析を提供し、重要な意思決定を迅速かつ正確に行うことができます。このユニットは、プロセスツールと生産データベースと統合して生産性を向上させ、エンドユーザーはプロセスを最適化し、製品サイクルを短縮することができます。KLA SP1 Classicは、高度なイメージング技術を使用してウェーハやマスクを検査し、リソグラフィ、エッチング、成膜、ウェーハコーティングなどのさまざまな製造工程を行います。カラーカメラを内蔵しており、最大10,000x倍率の表面の複数の画像をキャプチャできます。これにより、検出できない可能性のある最小の欠陥を検出することができます。TENCOR SP 1 CLASSICには、ウェーハとマスクの正確な測定を可能にする組み込みAutoFocusツールもあります。このアセットは、地形、オーバーレイ検査およびアライメント、抵抗プロファイルなどを測定できます。また、従来のイメージング機器では検出しづらいウエハー欠陥を検出することが可能で、様々なサイズの繰り返し構造や構造を識別することが可能です。SP1 Classicはまた、マスクおよびウェーハ検査から収集されたデータをキャプチャ、分析、比較するためのソフトウェアプラットフォームを提供します。このプラットフォームは、自動欠陥検出、3次元ディスプレイ、高解像度画像強化、スペクトル分析、高度なデータマイニングアルゴリズムなどの高度な機能を備えた直感的なユーザーインターフェイスを介して取得した画像にアクセスすることができます。ソフトウェアは、特定のニーズに合わせてカスタマイズすることができ、データが常に正確かつ最新であることを保証します。最後に、KLA/TENCOR SP 1 CLASSICは効果的で信頼性の高い検査システムであり、高精度と精度を提供します。他のプロセスツールと統合することで、エンドユーザーは歩留まりとプロセス効率を向上させ、製品サイクルと生産コストを削減できます。