中古 KLA / TENCOR Surfscan SP1 Classic #9211652 を販売中

KLA/TENCOR SP1 Classicは、モダンでレガシーな集積回路（IC）マスクとウェハの光検査を行うために設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。これは、低倍率であっても、集積回路構造の欠陥の検出において比類のない高速性と精度を提供します。このシステムは、高い歩留まり率を確保し、高品質の部品を提供するために、生産ラインでの使用に最適です。KLA SP1 Classicユニットには強力なイメージプロセッサが装備されており、明るさとコントラストの設定により、オペレータは検査プロセスを正確に監視できます。最新世代の対物レンズと高度なリアルタイムアルゴリズムを使用して、オペレータはシームレスで正確な欠陥検出の恩恵を受けることができます。TENCOR SP 1 CLASSICは、最大250X倍の拡大を保持するようにテストされており、最高の欠陥の最大解像度を保証します。このツールには使いやすいユーザーインターフェイスが装備されており、オペレータは正確な地形検査を設定できます。これには4つのイメージングオプションが含まれており、フルフィールドまたは部分エリアスキャン、バックサイドスキャン、マルチチップイメージング、パターン認識プロセスの最適化が可能です。これらの機能により、オペレータはカスタムの自動検査シーケンスを作成し、各アプリケーションの特定の要件に合わせてアセットを調整できます。最適な結果を得るために、SP1 Classicの精密エンジニアリングは光学系の柔軟な実装を可能にし、信頼性と安定したイメージングを提供します。KLA/TENCOR SP 1 CLASSICは、メンテナンスを容易にするように設計されており、クリーニングシーケンスを自動化し、最適な性能を確保するために機器を自動的に洗浄および検査する統合クリーニングモデルが付属しています。このシステムはまた、長年の信頼性の高い照明を提供することができる長寿命のLED光源を備えています。この信頼性の高いユニットは生産ラインに最適です。そのため、半導体ファウンドリや統合デバイスメーカーから他のタイプの精密光学および計測アプリケーションまで、多くの業界で使用されています。優れた性能と堅牢な構造により、TENCOR SP1 Classicはあらゆる生産ラインに最高の性能と精度と信頼性を提供できます。