中古 KLA / TENCOR Surfscan SP1 Classic #293744910 を販売中
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KLA/TENCOR SP1 Classicは、チップメーカーに最適な性能を提供する次世代マスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、生産性を向上させ、欠陥検出を強化し、処理時間を節約するための高度な技術を提供します。このユニットの主な特徴は、45nmの検査解像度、高速表面カバレッジ用の2つのスキャン倍率、および検査精度を向上させる自動欠陥認識です。KLA SP1 Classicは、高速ビデオ検査顕微鏡、空間フィルタ、Canon CMOSカメラ、高解像度モニタなど、複数のコンポーネントを統合したプラットフォームを内蔵しています。この統合プラットフォームにより、ユーザーは欠陥をすばやく特定できます。この顕微鏡は防塵・防振ハウジングに収納されており、サーマルドリフトやノイズレベルも最小限に抑えられています。これにより、機械の安定性と精度が向上します。さらに、TENCOR SP 1 CLASSICは、輝度による欠陥検出、redout識別、欠陥マッピング、および自動プログラム実行などの高度なアルゴリズムを備えています。SP 1 CLASSICもメンテナンスのダウンタイムを削減するように設計されています。これは、振動の影響を最小限に抑え、工具の寿命と性能を延ばすダイレクトドライブ、低振動モータを備えています。さらに、自動ノズルクリーニングアセットを使用することで、手動で介入することなく簡単にモデルを維持することができます。さらに、高度な設定、測定、診断、校正、操作ログの包括的な設定を提供する洗練されたソフトウェアスイートが装備されています。その強力な機能に加えて、SP1 Classicには直感的なユーザーインターフェイスがあり、ユーザーはすばやく簡単に欠陥を見つけ、特定し、測定することができます。さらに、最大48ファイルのストレージを備えているため、画像の保存、アーカイブ、印刷が簡単です。また、手動マッピングと自動マッピングの両方に対応する交換可能なモジュールを提供しており、ユーザーはニーズに最も適したモードを選択できます。その結果、KLA/TENCOR SP 1 CLASSICは、マスクおよびウェハ検査ニーズに最適なソリューションです。
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