中古 KLA / TENCOR Surfscan SP1 Classic #293594484 を販売中
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KLA/TENCOR SP1 Classicは、半導体業界向けに設計されたマスク&ウエハ検査装置です。これは、高度なイメージングおよび光学計測技術を使用してフォトマスクやウェーハの欠陥を検査する完全自動検査プラットフォームです。このシステムは、ウェーハとマスクの同時検査を可能にする2つの独立したチャネルを使用しているため、検査プロセスを大幅に高速化できます。KLA SP1 Classicは、高解像度デジタルCCDカメラと高度な光学技術を使用してウェーハとマスクの両方をイメージする高度なイメージングユニットを備えています。このマシンは、ダイ、プロセスの欠陥、ピンホールなどの欠陥から、ライン幅や近接効果などのシャープな機能まで、幅広い欠陥を検出するように設計されています。イメージングツールは、高度な解析ソフトウェアと組み合わせて欠陥を識別し、分類します。このソフトウェアは、複雑なパターンや形状を検出して、より検出が困難な機能を特定することもできます。この資産には、電気的欠陥を検出できる独自の電気マッピングモデルを含む、サンプル処理の複数の自動化された段階が装備されています。この装置には、自動サンプルの取り扱いとローディングのためのコンベアシステムと、迅速なウェハ検査のための包括的なウェハトランスポートユニットも含まれています。統合されたモーションコントロールマシンは、カメラとサンプルステージの両方の正確で反復可能な動きを可能にし、高い精度と再現性を可能にします。ユーザーインターフェイスは直感的なグラフィカル環境を通じて提供され、ツールパラメータや機能を簡単に制御し、詳細な資産情報やレポートにアクセスできます。さらに、KLA Remote Serviceは、合理化されたユーザーエクスペリエンスのためのリモートサポートと診断を提供します。このモデルは、1時間に10万以上のウェーハを検査することができ、幅広い欠陥を検査するための強力で信頼性の高いツールです。また、既存の半導体プロセスに容易に統合できるように設計されており、さまざまなアプリケーションに最適です。TENCOR SP 1 CLASSICは、ウェーハとマスクの両方の迅速で正確で信頼性の高い検査を必要とするあらゆる作業に最適です。
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