中古 KLA / TENCOR STARlight SL437 #9115268 を販売中

KLA/TENCOR STARlight SL437は、優れた速度で正確で信頼性の高い画像を実行するように設計された先進的なハイエンドマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、検査プロセスの精度と信頼性を確保するために、デジタルイメージングオプションのフルレンジと強力な画像解析機能を備えた高度な光学ユニットを利用しています。SL437のモジュール設計は各顧客の注文の必要性のための柔軟性を可能にします。この装置のイメージング機能は、二重クラッドレーザーと25nmスリット開口光学系に基づいており、ウェーハおよびマスク検査用に最大の視野を表示することができます。SL437のイメージングセンサーは、8メガピクセルCMOSフルフレームイメージングセンサーと1。8メガピクセル16bit カラーCCDイメージングセンサーに基づいています。これにより、SL437は毎秒最大320枚の画像を高速で高精度な検査を行うことができます。SL437の高度な画像解析機能により、高い信頼性で欠陥を検出およびローカライズできます。欠陥検出アルゴリズムは、欠陥の高度な意思決定分析に基づいており、特に正確で信頼性の高い検出を可能にします。このツールには強力なパターンマッチング機能が含まれており、ユーザーは以前のパターンを使用してブリッジや開くなどの特定のカテゴリの欠陥を検出することができます。このSL437は、スケーリング機能とゼロ校正機能を備えたマルチシフト操作用に設計されています。スケーリング設定により、さまざまな種類のウェーハやマスクに自動的に検査パラメータを調整することができ、繰り返し検査が可能です。さらに、仮想サンプルアプローチを利用して、SL437資産のユーザーは、単一の画像からウェーハまたはマスク全体を調査することができ、迅速な欠陥検出プロセスを可能にします。KLA STARlight SL437モデルは、ウェーハおよびマスク検査のための高性能と信頼性を提供します。デジタルイメージングを搭載した先進的な光学機器を活用し、最新の生産設備のスループットに簡単にマッチし、毎秒最大320枚の画像を検査できます。画像解析アルゴリズムは、パワフルなパターンマッチングと欠陥ローカライズ機能を提供します。さらに、SL437にはスケーリング機能とバーチャルサンプル機能が内蔵されており、検査パフォーマンスをマルチシフト操作にすばやく拡張できます。