中古 KLA / TENCOR Starlight SL303 UV #9237964 を販売中

KLA/TENCOR Starlight SL303 UVは、半導体デバイスの欠陥を検出および評価するために設計された高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。広視野と高解像度を両立し、マスクやウェーハ基板の全機能を高精度に検査できます。このユニットは紫外線を使用することで、欠陥や粒子の汚染物質を最小限に検出することができます。SL303 UVは独自の高度な光学系とアルゴリズムを使用し、コンピュータ制御の電動ステージとレーザナビゲーション技術を組み合わせて、基板の広い領域を迅速かつ正確に検査します。この装置は0。5マイクロメートル程度の微細な特徴を検出することができ、また、従来のイメージング技術では検出が困難であったトライレイヤーマスクや超薄層などの基板を検査することができます。高解像度カメラは、最大10 000 x 10 000ピクセルの解像度で画像の各フレームをキャプチャします。SL303 UVは、多くの重要な安全性と環境機能も備えています。クリーンルーム環境で動作するように設計されており、資産が故障した場合に起動できるセーフモード制御ツールが装備されています。そのレーザーの安全変数は厳しく監視され、維持されます、操作の間にオペレータの安全を保障するために。ユーザーフレンドリーなコントロールインターフェイスにより、検査タスクを簡単に設定でき、統合されたレポート機能により検査結果の追跡が可能です。これは、正しい反復可能なテスト結果を確実にするのに役立ちます。SL303 UVには統合されたエジェクターモデルもあり、不良品を自動的に排出して生産に送らないようにします。KLA Starlight SL303 UVは、高度で信頼性の高いマスクおよびウェーハ検査装置であり、高精度と再現性を提供します。高解像度光学、自動化された制御システム、および統合された安全機能の組合せはそれを精密な点検のための理想的な解決にします。