中古 KLA / TENCOR Starlight SL3 #293815984 を販売中

KLA/TENCOR Starlight SL3は、幅広いアプリケーション要件において比類のない精度とスループットを提供する高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、先進的な光学技術、ウェーハ製造技術、欠陥検出技術を組み合わせ、生産環境と研究開発環境の両方で優れた性能と信頼性を提供します。KLA Starlight SL3ユニットは、3段階の光学パスフロントエンドと2つの中間ステージを備えており、より高い感度、効率、ダイナミックレンジを提供します。オプティカルパスには、マスク表面とウェーハ表面の両方の欠陥を正確に検出および検査する高精度のオプティカルアライメントおよびセンシングマシンが含まれています。このツールには、磁気リニアおよびロータリーエンコーダを備えたデュアルフレキシアステージと、ダイナミックオートフォーカス技術が含まれています。効率的な欠陥検出のために、TENCOR Starlight SL3アセットは、最先端の画像操作アルゴリズムと高解像度スペクトルフィルタを利用しています。このアルゴリズムは、画質を最大限に高め、ノイズを最小限に抑え、ピンポイントレベルの精度と再現性を実現します。このモデルは、最大20メガピクセルの解像度の画像に対応でき、マスクとウェーハの両方の表面の欠陥を検出、測定、分析するために使用できます。装置の自動欠陥検出および解析機能により、マスク欠陥とウェーハ欠陥の両方を迅速かつ堅牢に解析できます。Starlight SL3のソフトウェアは、データを検出および識別された欠陥のわかりやすいグラフィカルディスプレイに解釈します。このインターフェイスは、自動化された欠陥解析のためのシンプルなワークフローを提供し、サイクル時間を短縮し、スループットを向上させ、欠陥レビュー時間を短縮します。KLA/TENCOR Starlight SL3システムは低消費電力アーキテクチャで構築されており、平均消費電力はわずか19ワットです。このユニットは、5分のオリエンテーションと調整時間、および600msのクールダウン時間を備えています。さらに、高度なハードウェアとソフトウェアの統合により、業界標準のほとんどの製造ツールとの最適な機械性能と互換性が保証されます。KLA Starlight SL3は、正確で効率的なマスクおよびウェーハ検査を必要とするあらゆるアプリケーションに最適です。その先進的な光学系、ウェーハ製造、欠陥検出、画像処理機能により、マスクとウェーハの両方の優れた性能と堅牢な解析を可能にします。その結果、このツールの低消費電力アーキテクチャと業界標準の互換性により、幅広い検査タスクに最適です。