中古 KLA / TENCOR Starlight SL3 UV #293815985 を販売中

KLA/TENCOR Starlight SL3 UVは、パターン基板層のイメージングおよび自動検査に使用される強力なハイテクウェーハおよびマスク検査装置です。5ミクロンの高解像度イメージング機能と、1時間あたり最大30個のブライトフィールド/ダークフィールドの自動検査速度を備えています。KLA Starlight SL3 UVは、充電された結合デバイス（CCD）カメラと高度な照明技術の最大ポテンシャルを発揮する強力な画像取得shuxployingのスイートを提供しています。それはパターン化された層の小さい欠陥、欠陥および非均一性を検出し、測定するのに使用される同時に明るい分野および暗い分野のイメージ投射を含んでいます。高度なイメージング技術により、異なるレイアウトレイヤとパターン構造の体系的な概要を作成し、ユーザーはそれらをすばやく分析して比較することができます。検査機能の面では、TENCOR Starlight SL3 UVは、自動光学プロービング（AOP）による高度な自動光学検査（AOI）機能を提供します。このAOP技術を通じて、ユーザーはパターンのさまざまなレベルの詳細と解像度の領域を定義し、それらの領域を迅速にスキャンして詳細な分析と比較を行うことができます。さらに詳細なマスクレポートを作成し、統計分析を行うこともできます。パフォーマンス面では、Starlight SL3 UVは非常に信頼性が高く、印象的な機能の範囲を提供します。その高度な照明技術は、正確で信頼性の高い結果を得るために、ハイコントラストと均一な照明を保証します。高速スキャン機能により、小さな欠陥やバリエーションを素早く検出できます。さらに、高解像度イメージング、自動化されたダークフィールド、明るいフィールドイメージング、自動光学プロービング（AOP）技術、高度な統計解析など、幅広い機能を提供しています。結論として、KLA/TENCOR Starlight SL3 UVは、パターン層を迅速に検査および比較するために必要なツールと機能を提供します。その高度なイメージングおよびオートメーション技術により、ユーザーは小さな欠陥、欠陥、および非均一性を検出して測定することができます。さらに、高解像度イメージング、高度な照明、自動光学プロービング、統計分析による詳細なレポートにより、正確で信頼性の高い結果が得られます。