中古 KLA / TENCOR Starlight SL3 UV #200296 を販売中

KLA/TENCOR Starlight SL3 UVは最先端のマスクおよびウェーハ検査装置で、高度なパターニング用途に20ナノメートル以下の分解能を提供します。このシステムは、特許取得済みの非接触光学イメージング技術を搭載しており、その中心に高解像度のイメージングを提供します。Starlight SL3は、高速で効率的なサンプルの読み込みと位置決めのために自動化されたスライドステージを利用して、簡単にサンプルを観察するための直感的なユーザーインターフェイスを備えています。KLA Starlight SL3 UVは、特別に設計されたCCDカメラを中心とした優れた光学系イメージングユニットで構成されています。このカメラは、高度な照明技術を使用して超高解像度のイメージングを実現しています。Starlight SL3は、最高の画質を実現するために、高度なパターンマッチングアルゴリズムと高度な画像処理アルゴリズムを使用して、詳細な欠陥解析と迅速なフィードバックをユーザーに提供します。さらに、欠陥検出機能には、通常のマスクからプリント基板上の見えない欠陥までが含まれます。正確な結果を得るために、Starlight SL3には、一貫したイメージング条件を確保するためのキャリブレータモジュールが内蔵されています。強力なイメージング機能に加えて、Starlight SL3は最大スループットを提供するように設計されています。このマシンはオートメーション用に最適化され、高度なパターン認識モデルを実行して、他のシステムよりも迅速かつ正確に欠陥を識別します。さらに、このツールは、複数のプログラムを同時に実行して全体的な効率を高めることができます。ユーザーは、さまざまなジョブプログラム間で検査設定を保存して、効率的なジョブ管理を行うこともできます。最後に、Starlight SL3は極端な安全性と環境保護のために設計されています。環境汚染を排除する「クリーンルームのみ」プロセスと、ダスト粒子を損傷させる可能性のある自動粒子検出アセットを備えています。さらに、このモデルは、任意の異常をユーザーに自己診断および警告し、ダウンタイムを最小限に抑えるためのリアルタイム診断を提供するように設計されています。全体として、TENCOR Starlight SL3 UVは、1つのパッケージで比類のないイメージング機能、スループット、精度、安全性を提供する高度な高性能マスクおよびウェーハ検査装置です。最先端のイメージング機能と強力な処理能力を備えたStarlight SL3 UVは、これまで以上にハイテクパターニングアプリケーションを容易にします。