中古 KLA / TENCOR StarLight 300 SL300 #9083887 を販売中

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ID: 9083887
ヴィンテージ: 1996
Inspection system, 1996 vintage.
KLA/TENCOR StarLight 300 SL300は、製造工程における欠陥の検出において最高レベルの精度と精度を提供するように設計された高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。優れた解像度で、SL300は反射率のわずかな変化だけで最も微細な欠陥を検出することができます。このシステムはまた、生産時間を変革し、効率と精度の向上によってコストのかかる再稼働を削減する可能性があります。KLA StarLight 300 SL300は、複数の波長のフィールドに設計されており、幅広い問題領域を迅速に分析できます。このユニットは、特殊な光検査技術に依存して、最も小さな欠陥を特定するマスク検出技術を強化しています。SL300は、最も困難なマスクであっても、複雑なライン幅の欠陥をすばやく特定して見つけることができます。また、金属ウェーハと非金属ウェーハの両方の欠陥を検出する機能も備えています。このマシンはまた、複数の光信号を処理するための単一の検査アルゴリズムを可能にするマルチチャンネルモードを含むいくつかの特殊な機能を提供しています。これにより、複数の手動検査によるオペレータのバイアスエラーを低減し、最終的に欠陥検出を高速化することができます。SL300はまた、ツールの柔軟性をさらに高めるために、ユーザー定義の検査パラメータを定義する機能を提供します。SL300には高解像度のCCDカメラが搭載されており、非常に正確な欠陥画像をキャプチャし、高度なハードウェアとソフトウェアアルゴリズムによって処理されます。分析プロセスを経た後、資産は、根本原因を決定するために迅速に識別し、分離することができる各欠陥の特定のタイプと場所を識別するレポートを生成します。最後に、SL300モデルには、操作の容易さと柔軟性をさらに高める豊富なアクセサリーとソフトウェアが含まれています。オプションのAcquisition and Analysisソフトウェアを使用すると、キャプチャデータへの最速のアクセスと、その場での正確な欠陥検出が可能になります。さらに、自動欠陥解析、複数のサンプルモード、色検査などのソフトウェアオプションも利用でき、長時間の手動検査の必要性をさらに低減できます。TENCOR StarLight 300 SL300は、製造工程における欠陥の検出において最高レベルの精度と精度を提供するように設計された高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。優れた解像度、マルチチャンネルモード、オプション機能ソフトウェアを備えたこのSL300は、堅牢で信頼性が高く時間効率に優れた検査システムを求める生産環境に最適です。
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