中古 KLA / TENCOR Spectra CD #9251386 を販売中

KLA/TENCOR Spectra CDは、最高レベルの自動欠陥検出と欠陥分類を提供するマスクおよびウェハ検査装置です。これは、3D表面およびオーバーレイ計測、欠陥イメージングおよびレビュー、抵抗プロファイリングおよび体系的欠陥分類を提供します。このシステムは、マスクやウェーハの検査に必要な人材を最小限に抑えながら、マスクショップや統合デバイスメーカー（IDM）の歩留まり向上に役立つように設計されています。KLA Spectra CDユニットは、ウェーハまたはマスクの正確な自動アライメントを可能にし、可能な限り最良の結果を得ることができます。このアライメントには、正確な位置に関係なく、欠陥を正確に識別できるように、複数の画像の自動化されたステッチが含まれています。さらに、機械は非常に低いしきい値で欠陥を検出して分類することができ、その分析で最高レベルの精度を得ることができます。このツールは、自動ビジョンベースの検出および3D解析技術を使用して、マスクおよびウェーハ表面からの欠陥を測定および分類します。高度なフィルターとオートメーションツールにより、アセットはマスクおよびウェーハ表面のパーティクル、ボイド、ライン欠陥を迅速に識別できます。欠陥が特定されると、それらを剥離や変形などの異なる特徴タイプに分類することができ、特定の基板上の欠陥の種類を完全に理解することができます。さらに、TENCOR SPECTRACDモデルは、自動レジストプロファイル測定と比較機能を提供します。これにより、ユーザーは異なる層の厚さを測定して比較することができ、プロセスを最適化して歩留まりを向上させるための貴重な情報を提供します。また、epi、 darkfield、 brightfieldなどの高度なフレキシブルイメージングテクノロジーを搭載しており、マスクやウェーハ上で起こっていることを真に視覚的に表現できます。KLA SPECTRACDシステムは、オペレーションおよびプロセス制御システムなどの他のシステムと統合し、より高いレベルの自動化と一貫性を確保します。また、完全な欠陥履歴の追跡とレポートをサポートしているため、プロセス結果を時間をかけて追跡でき、歩留まりの最適化がさらに強化されます。全体的に、SPECTRACDはマスクとウェーハ検査のための印象的で高性能なユニットです。高度で自動化されたビジョンベースの検出機能と3D解析機能、柔軟なイメージング技術により、最高の歩留まり改善と欠陥識別を実現します。さらに、自動化されたアライメント、欠陥分類、レジストプロファイル測定、および統合機能により、収率と一貫性を改善しようとするあらゆるマスク会社やIDMにとって理想的な選択肢となります。