中古 KLA / TENCOR Spectra CD-XTS+ #9263050 を販売中

KLA/TENCOR Spectra CD-XTS+は、半導体メーカーがウェハまたはダイ上の物理パラメータを測定するために設計されたウェハテストおよび計測機器です。ユーザーインターフェイスを介してテストが行われるため、ユーザーにフィードバックを提供することで、ウェーハのテストと測定プロセス中にリアルタイムのプロセス調整を可能にします。KLA Spectra CD-XTS+には、電子ビームカラム、光学センサ、ソフトウェア制御などの複数の統合コンポーネントが含まれており、高解像度の画像と半導体機能から詳細な物理パラメータを取得できます。カラムのビーム偏向は、X-Y座標制御カラムのセットによって制御され、カラムは強力なデータ収集プロセッサ（DAP）と統合されており、非常に高速なデータキャプチャが可能です。カラムのX-Y動作により、ウェーハの非常に小さな領域または高解像度の金型表面で物理パラメータをテストすることができます。TENCOR Spectra CD-XTS+光学システムには、CCDカメラが含まれています。CCDカメラは、テストされた領域の画像を処理ユニットに送信する前にキャプチャします。処理ユニットは、取得した生画像を一様なデータマップに加工して解析する、専用のソフトウェアアルゴリズムを実行する強力なコンピュータで構成されています。このデータマップを使用すると、ソフトウェアはいくつかの特殊なアルゴリズムを使用してさまざまな重要な測定値を計算し、時間とともにパフォーマンスに関する傾向を確立することができます。これにより、従来の試験方法では見落とされる可能性のあるプロセスのバリエーションや矛盾に対する高いレベルの品質管理と詳細な分析が可能になります。さらに、Spectra CD-XTS+には、ウェーハ上の構造を空間的に特定し、厚さ、傾斜角度、深さ、構造間距離などの詳細な物理パラメータをキャプチャする専用のソフトウェア駆動レーザラインスキャン（LLS）が含まれています。最後に、完全にプログラム可能な検査ユニットも含まれており、欠陥を迅速に特定して報告し、ユーザーが是正措置を講じるか、プロセスの最適化を迅速に開始することができます。全体として、KLA/TENCOR Spectra CD-XTS+は、プロセス制御を改善するためのフィードバックを取り入れながら、詳細な物理パラメータの包括的なセットを提供することができる強力で汎用性の高いウェーハテストおよび計測機です。高度なビーム制御、検査、データ処理機能を組み合わせたKLA Spectra CD-XTS+は、あらゆる半導体製造プロセスに最適です。