中古 KLA / TENCOR Spectra CD-XT #9308718 を販売中

KLA/TENCOR Spectra CD-XTは、半導体製造のために設計された包括的なマスクおよびウェハ検査装置です。マスクやウエハの欠陥を検出する高解像度イメージング用のウェハステージ、光源、センサパッケージを内蔵しています。ユニットの中心にはKLA高性能ラインバイラインレーザー照明があり、サブナノメートル分解能での欠陥の高解像度、リアルタイム解析が可能です。このマシンは、多層検査、金属ライン検査、プロセス制御などの高度な技術に最適化されています。自動化された検査プロセスにより、プロセスの収束と生産性が向上し、サイクルタイムが短縮されます。このツールは、4台のカメラと2台のレーザー光源で構成された標準構成で、ウェーハを幅広くカバーします。このアセットは、最大8台のカメラと3台のレーザー光源に対応できます。このモデルには、1-D、 2-Dまたは3-Dサーフェスの検査を可能にする2つのフィーチャー抽出アルゴリズムと、タイプ、位置、サイズなどの欠陥特性評価があります。KLA Spectra CD-XTは、フィーチャーマッチングやスライシングなどの高度な計測および欠陥分類機能も提供します。革新的な特徴抽出機能により、3D構造のために構築されたものを含む副波長構造の検査が可能になり、パターン欠陥の識別精度が向上します。さらに、データ分析、品質管理、プロセス監視を含む統合された分析およびレポート環境を備えています。これにより、ユーザーはプロセスフローを監視、制御、分析し、問題を迅速に特定して対処することができます。このシステムはユーザーフレンドリーなインターフェースを備えており、ユーザーはユニットを簡単に制御し、プロセスをウェーハに適用することができます。TENCOR SPECTRA CD XTは、さまざまなプロセスと技術に対応できる強力なマスクおよびウェーハ検査機です。このツールは、高度な計測と欠陥分類を提供することにより、欠陥を検出する際のパフォーマンスと精度を向上させるように設計されています。これは、統合された半導体回路のより高い歩留まりと品質を確保するのに役立ちます。