中古 KLA / TENCOR SP3 #9251594 を販売中

KLA/TENCOR SP3は、フォトマスクとウェーハの非破壊、高解像度解析を提供するマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、NA 0。85 brightfield/darkfield 2レンズ構成と光学彫刻を備えたデュアルビーム技術を提供します。ユーザーは、設計プロセスのあらゆる段階でフォトマスクやウェーハにアクセス、管理、分析し、量産前に適切な機能を検証することができます。KLA SP-3ユニットには、スピーディで正確なパフォーマンスを実現するいくつかの機能とコンポーネントが組み込まれています。その高解像度エリアスキャンカメラ（HS-Cameras）と複数の光学系は、低ピクセルノイズレベルで優れたイメージング機能を提供します。また、インテリジェントなフォーカステクノロジーにより、フォーカスプロセスを高速化し、検出性能を向上させた高品質の画像を生成します。統合されたソフトウェア環境により、ユーザーはユーザーフレンドリーなインターフェースで自動化されたプロセスを設定、監視、保存できます。このツールは3つの構成で利用できます。ソリッドステートシングルカメラ、デュアルカメラ資産とカメラとスキャナの両方を含むフルモデル。また、オートアライメントシステムを備えており、正確なパターンが検査されていることを確認するために、ユーザーがパターンを迅速かつ正確に調整することができます。また、欠陥を迅速かつ正確に検出および分類できる自動欠陥制御機能も備えています。TENCOR SP 3は、マスクおよびウェーハ表面を正確かつ徹底的に検査するように設計されています。その革新的な機能は、デバイスの機能を迅速かつ正確に検査するための自動プロセスを提供します。その結果、KLA SP3ユニットは、通常手動検査では見えない微細構造の欠陥を正確かつ包括的に識別することができます。この機械は、1ミクロン以下の精度で欠陥を識別することができ、接触面と非接触面の弱対中性欠陥を迅速に識別することができます。高い検出感度と精度により、高度なフォトマスクやウェーハ解析に最適なツールです。