中古 KLA / TENCOR SP3 #9236717 を販売中

KLA/TENCOR SP3は、高度なデバイス製造用に構築された高精度マスクおよびウェーハ検査装置です。明るい赤色のLEDイメージングエンジンを使用して、KLAの業界をリードする光学計測、イメージング、解析技術を使用して、優れた精度と認識速度を提供します。KLA SP-3のレイヤードアプローチには、優れた照明とピクセルレベルの解像度が組み込まれており、各アプリケーションに必要な特定のデータを収集することができます。このユニットは、製造メーカーがウェーハおよびマスクパターンを正確に検出および識別するために、複数のレベルの測定データを取得および比較することを可能にします。高度な光検査機TENCOR SP 3は、高速赤外線（IR）レーザー、高度な光学、光源、および複数のイメージセンサーで設計されています。この設計により、マスクとウェーハシステムの両方の欠陥を検出し、優れた解像度を提供することができます。このアセットは、マスクとウェーハパターンの両方の欠陥を1つの光波長と同様に解像度で非破壊的に測定および検出する機能を備えています。さらに、このモデルはサブナノメートルの精度を提供します。この機器は、ユーザーが特定のアプリケーションにカスタマイズできるモジュラー設計を備えています。例えば、スタッキング、ブリッジ、ショートパンツ、汚染物質、ピット、傷などの幅広い欠陥を検出するために使用できます。さらに、KLA SP 3は、リモートアクセス機能や自動プロセス制御の最適化などの機能を備えたユーザーフレンドリーなソフトウェアプラットフォームを備えており、特定のアプリケーション向けにユニットをさらにカスタマイズできます。KLA/TENCOR SP 3の特徴と機能により、デバイスパターンの優れた検査と特性評価に最適なソリューションです。正確で効率的なソリューションにより、SP 3は高度なデバイス製造と重要な検査に最適です。