中古 KLA / TENCOR SP3 #9236215 を販売中

KLA/TENCOR SP3は、マスクおよびウェーハ欠陥の包括的かつ正確な評価を提供するように設計されたマスクおよびウェーハ検査装置であり、正確かつタイムリーな是正措置を可能にします。このシステムは、光学顕微鏡ヘッド、レーザービーム、および欠陥を検出および測定する光電検出器で構成されています。顕微鏡の頭部の機能は自動イメージの捕獲、欠陥の検出および自動分類を含んでいます。レーザービームは、高精度で欠陥を迅速に検出および識別するために使用され、光電検出器は、ウェーハとマスクの鮮明でシャープな画像を提供します。このユニットは、欠陥サイズ、形状、傾き、深さの測定値を含むウェーハまたはマスク欠陥の詳細なレポートを生成します。このマシンはホスト検査および計測システムとインターフェースされているため、欠陥情報や分析のリアルタイム管理が可能です。このツールには、欠陥を簡単に表示できる強力な可視化ツールも含まれています。これは、欠陥の分析と同定を容易にし、是正措置を支援するために使用することができます。この資産は、ユーザーの介入を最小限に抑えて、高効率で迅速な検査および分析のターンアラウンドを保証するように設計されています。このモデルはアップグレードも可能で、自動校正、リソース、時間節約機能を備えています。KLA SP-3装置は、最大150mmウェーハの動作が可能で、さまざまなレベルの検査に適したフィルター、レンズ、イネーブラなど、さまざまなオプションが用意されています。その構成可能なレシピ技術は、さまざまなアプリケーションに最適なパフォーマンスを保証します。TENCOR SP 3の高度なプログラミングにより、さまざまな条件をシミュレートし、表面カットから積層マスクまで、あらゆる種類の欠陥を検出できます。このシステムには、大量のウェーハ検査に正確な結果を提供するインテリジェンスが内蔵されており、重要かつ複雑な欠陥の高精度を保証します。KLA SP3は信頼性が高く、直感的なナビゲーションとコントロールでユーザーフレンドリーです。包括的な欠陥解析ソリューションとウェーハ解析ソリューションを提供し、プロセス制御の向上、迅速な製造、効率の向上を実現します。