中古 KLA / TENCOR SP3 #293648486 を販売中

KLA/TENCOR SP3マスク&ウェーハ検査装置は、半導体マスクおよびウェーハの欠陥を検出および識別するために設計された最先端のイメージングおよび分析装置です。KLA SP-3には、高度な光学系、高度な画像処理、高度な測定ソフトウェアが搭載されており、すべての機能が徹底的に検査および測定されることを保証します。TENCOR SP 3は独自の「3D照明」技術を活用して、高解像度の画像を開発し、正確な欠陥検査や測定に使用します。このシステムは、狭い線と密接に結合した空間を含む、最も複雑な形状の明確な画像を取得することができます。使用される高度な光学系は52 μ mの視野を持ち、4 μ mの小さい特徴サイズを検出することができます。LED照明スペクトルの広い範囲と視野領域の高精度ターゲティングを含むユニットの照明面は、線の幅、寸法、位置などの機能の詳細な検査を可能にします。TENCOR SP-3は、ローカライズおよびグローバルな欠陥測定が可能な高度な自動測定ソフトウェアを誇っています。このマシンは、アルゴリズムとユーザー定義の測定を組み合わせて、線幅、寸法、位置（LWDP）違反、臨界寸法（CD）エラー、導電性エラーなどの欠陥タイプを予測および検出します。また、静電容量、漏れ、酸化物キャプチャなどの回路設計の課題に対応するように特別に構成されています。KLA/TENCOR SP-3ツールは非常にユーザーフレンドリーで操作が簡単です。包括的で直感的なインターフェイスを提供し、欠陥や機能を簡単に駆動、検査、測定、分析できます。この資産には、ユーザーが情報をすばやく簡単に調べることができる包括的な知識ベースのアプローチも装備されています。SP-3は、スループットと生産性を向上させるためのオールインワンツールを提供し、半導体の製造品質と効率を向上させるために、エンジニアが欠陥を迅速かつ正確に検出および測定できるようにします。このモデルはまた、業界をリードするカスタマーサポートエンジニアのチームによってサポートされており、機器とその機能に関連する問題や質問について話し合うことができます。