中古 KLA / TENCOR SP3 #293645625 を販売中

KLA/TENCOR SP3マスクおよびウェーハ検査装置は、フォトリソグラフィーマスクおよびウェーハの表面の欠陥を検出および測定するために設計された特殊な品質管理システムです。このユニットは、ウェーハやマスク面の欠陥を短時間で正確かつ効率的に識別することができます。KLA SP-3は、高度な光学技術、イメージング技術、レーザー技術を活用して、サブミクロン構造やその他の異常を検出します。TENCOR SP 3には、欠陥を正確に特定し、欠陥の種類、サイズ、位置に関する情報を提供できるいくつかの機能が装備されています。上面検査、画像検出、スポット計測、オーバーレイ計測、オーバーレイ散乱計など、さまざまな検査が可能です。これらの検査はすべて、マスクまたはウェーハの全体的な画質を向上させるために一緒に使用することができます。精度と一貫性を確保するために、SP3はScanpoolと呼ばれる革新的な技術と統合されています。この技術により、ウェーハまたはマスク表面の精密かつ均一なスキャンが可能になり、高精度な測定と効率が向上します。さらに、KLA SP3はエラー訂正、フォーカス最適化、自動ラインセンサー、高度な画像処理アルゴリズムのスイートと統合されています。SP-3は、サブミクロンフォーカス最適化、誤差補正、Z-高さなどのハイエンド線分析が可能です。さらに、表面粗さ、幅、CD、 CDのバリエーションを個別に測定し、欠陥解析と特性評価を改善できます。さらに、KLA/TENCOR SP 3は直感的なユーザーインターフェイスを備えており、Control Workstationソフトウェアは簡単な操作とカスタマイズを可能にし、堅牢で柔軟なツールとなっています。TENCOR SP3は、高い品質管理を保証する強力で費用対効果の高いツールです。それは信頼でき、一貫した点検および正確さを提供し、それを品質管理の適用のための理想的な選択にします。また、コストに大きな価値をもたらし、コスト削減とプロセス管理の改善から産業が恩恵を受けることができます。