中古 KLA / TENCOR SP3 SURFSCAN #9115616 を販売中

KLA/TENCOR SP3 SURFSCANは、集積回路製造の欠陥を迅速かつ正確に検出するために設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。高解像度、高速スキャン、フルオートメーション、および他のシステムとの容易な統合を提供します。KLA SP3 SURFSCANシステムは、シングルユニットソリューションで高性能、高速サンプリングおよび測定機能を備えた自動表面検査およびマイクロサーフェスメトロロジーを提供します。TENCOR SP3 SURFSCANには、自動化された高性能の光学顕微鏡、電動ステージ、強力なイメージングおよび分析機が含まれています。アクティブ除去技術と計測技術を高解像度イメージングと組み合わせることで、サーフスキャンソリューションはサンプリングをこれまで不可能だった精度と速度のレベルに引き上げます。SP3 SURFSCAN顕微鏡は、200mmまでの作業距離を持つ高出力の対物レンズを備えており、優れた精度と解像度を提供します。強力なイメージングおよび分析ツールは、物理的、電気的、化学的欠陥の検出と分類を高速化し、欠陥の迅速かつ正確な検出と修復を可能にします。KLA/TENCOR SP3 SURFSCANアセットは、メッキ鋼、プラスチック、ガラス表面など、幅広いウエハ材料タイプにも対応しています。さらに、フォトプロセスを含むさまざまなパターンプロセスをサポートしています。また、湿式および乾式のプロセスをサポートするように設計されており、ナノスケールのプロセスによく使用されます。KLA SP3 SURFSCANには、抵抗マッピング、CDおよび粗さ測定、3Dマッピングなどの光学試験および計測ツールも統合されています。これらのツールは、デバイスの迅速な特性評価を可能にし、エンドユーザーはICの製造過程におけるデバイス特性の変化を正確に測定することができます。統合された光学試験および計測ツールにより、より迅速で正確な欠陥の識別とプロセスのパターン認識が可能になります。さらに、高解像度の画像取得と欠陥分類により、ユーザーは欠陥を正確に検出して修復することができます。これにより、製造コストを大幅に削減して、より迅速で正確なプロセスを実現します。最後に、TENCOR SP3 SURFSCANは、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えた強化されたユーザーエクスペリエンスを提供し、何が起こっているのかを明確に表示します。このモデルの高度なレポートおよびデータ分析機能により、プロセスと製品の結果を簡単に評価および比較できます。統合されたワークフロー機器により、ユーザーは進捗状況を効果的に追跡および監視し、品質指標をリアルタイムで表示できます。