中古 KLA / TENCOR SP2 #9282100 を販売中

KLA/TENCOR SP2は、マスクおよびウェハ検査用途向けに設計された高度な自動光学検査（AOI）装置です。高度な計測装置とウェーハ検査装置を採用し、高強度と再現性と高解像度のイメージングを組み合わせています。欠陥検出機能を強化し、プロセス要件を満たし、コストを削減するための幅広いカバレッジツールを提供します。KLA SP-2マシンには、ダークフィールド、多波長、偏光イメージングなどの高度な検査およびマッピング技術が含まれており、困難なデバイスで最も困難な欠陥を検査することができます。このツールはまた、コンピュータ支援検出と高度な顕微鏡を組み合わせたハイブリッドアルゴリズムを使用して、高精度の欠陥検出と分類を行います。さらに、TENCOR SP 2は、真のベクターモデルによる欠陥キャプチャと測定アルゴリズムを使用して欠陥の検査と分類を高速化し、他の特定の分析ツールへの入力として使用できる高品質の出力を提供します。KLA SP 2アセットはさらに、部分的なカバレッジと3Dイメージングにより、高解像度のイメージング機能を拡張し、さまざまな回路層や基板のナノメートルレベルの欠陥を検査することができます。また「、浮動小数点数」（サブミクロン粒子）の分類と分類、およびローカライズされたエッジとエッジのプルイン検出のための独自の機能も提供します。SP2モデルは、高い感度と低ミスレート機能を提供することにより、品質管理を向上させることができます。また、ハイスループットのウェーハ検査と品質管理を可能にし、1時間あたりの欠陥評価を向上させ、より効率的なプロセス操作を可能にします。このシステムは、企業の既存のユニットプロセス管理に簡単に統合でき、自動化のための包括的なアプリケーションプログラミングインターフェイス（API）が付属しています。KLA/TENCOR SP-2機は、正確かつ再現可能なマスクおよびウェハ検査を可能にし、生産コストを削減し、製品品質を向上させます。高度な画像解析機能、比類のない計測機能、直感的なユーザーインターフェイスを備えた信頼性の高い堅牢なツールは、デバイスとウェーハの検査で最高の歩留まりを保証します。