中古 KLA / TENCOR SP2 #9199155 を販売中

KLA/TENCOR SP2は、極めて正確なマイクロスケールの表面測定と欠陥検出機能を提供するように設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。高度なスキャンとイメージング技術を使用して、システムは精度で最小の表面の特徴と欠陥を解決することができます。KLA SP-2は、400〜950ナノメートルの可視範囲で動作する高性能CCDカメラを利用しています。高解像度レンズを使用して画像をキャプチャし、強力な画像処理アルゴリズムで処理します。これらのアルゴリズムは、「異粒子」、転位、傷、およびその他の表面欠陥などの不慣れな特徴を検出します。その後、画像はさらなる分析のために保存されます。このユニットは、サンプルのスキャンおよび測定時に速度と精度を重視しています。1秒あたり最大500万画素のスキャン速度を持ち、最大スキャン速度は毎時200ウェーハになります。さまざまな多軸チャックを使用して大きなサンプルをサポートすることができ、PCI/SCSIインターフェイスを使用すると、サンプルのリモート制御と処理が可能になります。このマシンは、高度なレンズと汎用性を高めるための追加のソフトウェアオプションでアップグレードすることもできます。たとえば、マルチポイントプレーナースキャンオプションを使用すると、TENCOR SP 2を使用して大きな領域を一度に素早く検査できます。また、拡張されたダイナミックレンジ機能により、高精度の測定が可能になり、マルチゾーンオーバーレイ機能などの専用ソフトウェアを使用することで、高精度の欠陥検出が可能になります。KLA/TENCOR SP-2は、多数のサンプルを迅速かつ正確に処理できる高度なマスクおよびウェーハ検査ツールです。高解像度イメージング機能と複数のソフトウェアオプションにより、SP-2は正確な欠陥検出と高精度な測定を保証します。半導体製造における最高水準の品質検査に最適です。