中古 KLA / TENCOR SP2 #9023715 を販売中

KLA/TENCOR SP2は、集積回路製造工程でマスクやウェーハを検査するために使用される自動マスクおよびウェーハ検査装置です。KLA SP-2の驚くべき精度と速度は、高度な光学および測定技術と自動欠陥検出機能の結果です。TENCOR SP 2は、CD（臨界寸法）やMIS（微細検査システム）測定など、マスクやウェーハの検査に必要な主要なOPC（光接近補正）パラメータをすべて測定します。また、OPCモデル構築機能を備えており、CD-SEM、 CD-FTIR（フーリエ変換赤外線）、CD-AFM（原子力顕微鏡）、AUBO-OCT（光学コヒーレンストモグラフィー）、フリンジ投影を測定することができます。KLA SP 2の最先端ナノメートルレベル測定技術は、5次元アライメントユニットを採用し、カメラレンズの位置や角度を調整する際の柔軟性と精度を向上させます。SP2は、特殊な欠陥検出アルゴリズムと画像処理フィルタを使用して、その結果を検出、定量化、報告します。KLAおよびTENCORで生成された画像の読み取りに加えて、その大きなイメージングライブラリを使用して、テストイメージを適切なコンポーネントの確立されたパターンと比較したり、検査や課題に備えることもできます。たとえば、その自動欠落レベル検出は、ウェーハに欠落している適切なレベルをすばやく識別することができます。最後に、SP 2には、センサの光場画像と連動して動作する連続自動アライメントマシンが含まれています。ユーザーがしなければならないのは、適切なパラメータを入力することだけであり、このツールをすばやく自動校正して、受け入れられない製品のバッチを検出することができます。さらに、アセットの自動欠陥認識アルゴリズムは90％以上の信頼性があり、複雑な欠陥や分類を個別に検出することができます。要するに、TENCOR SP-2は最新の光学および測定技術を搭載した高度な自動マスクおよびウェーハ検査装置です。欠陥を検出して迅速に分類し、OPCパラメータを測定し、画像を自動整列させる機能により、集積回路生産プロセスに不可欠なツールとなります。