中古 KLA / TENCOR SP2 XP #9199327 を販売中

KLA/TENCOR SP2 XPは、KLAの最先端のマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、半導体製造で使用されるマスクやウエハの検査用に特別に設計されています。KLA SP2 XPは、高解像度および高スループットで優れたウェーハ欠陥検査を提供します。TENCOR SP2-XPには強力な2メガピクセルのデジタルイメージ処理ユニットがあり、欠陥を6µmに小さく正確に評価することができます。この検査機は、トップダウン、傾斜、断面、反射画像など、さまざまな画像タイプを生成することができます。さらに、SP2 XPは、ウェーハ検査プロセスの波長355nmまたは1064nmの高エネルギーレーザーと統合されています。KLA SP2-XPは、粒子や他の粒子の存在によって引き起こされるものを含む非常に小さな欠陥信号を検出することができます。さらに、高度なレーザー技術を使用することで、ウェーハ構造、表面または輪郭の珍しい変化を特定することができます。TENCOR SP2 XPは、トレンチ、バリ、穴などの損傷または欠落している機能も検出できます。高度なイメージングと検出機能に加えて、SP2-XPにはいくつかの生産性とパフォーマンス機能が装備されています。アセットの高速化により、他の検査システムと比較して数分の1の時間でさまざまな欠陥を識別するための自動目視検査を迅速に実行できます。さらに、KLA/TENCOR SP2-XPの高スループットにより、検査プロセスが遅延なくスムーズに行われます。最後に、KLA/TENCOR SP2 XPには、特定のニーズや要件に合わせてモデルをカスタマイズするための柔軟性をユーザーに提供するための多数のソフトウェアおよびハードウェアオプションも含まれています。これらの機能により、KLA SP2 XPは製品品質を向上させ、マスクまたはウェーハが最も厳しい業界標準に準拠していることを保証することができます。