中古 KLA / TENCOR SP1 #9382809 を販売中

KLA/TENCOR SP1は、半導体製造マスクおよびウェーハのイメージングおよび検査に使用されるマスクおよびウェーハ検査装置です。イメージングモータ、センサー、光学を一体化した省スペース化システム、ソフトウェアスイート、およびお客様の製造環境とユニットの統合を簡素化するプラットフォームで構成されています。KLA SP1の主な目的は、高解像度イメージング技術、エッジマップオーバーレイ機能、検査結果の統計解析、直線性、再現性、精度を提供する高度なアルゴリズムにより、製造されたマスクおよびウェーハの品質を迅速かつ確実に検査することです。TENCOR SP 1は、高解像度イメージングと優れた照明を提供する強力な光学プラットフォームで、信頼性と再現性の高い検査結果を提供します。このマシンには、6インチまたは12インチのウェーハまたはマスクのシームレスなイメージングと検査を容易にする統合された電動X-Yステージが装備されています。また、LPO （Light Path Optimizer）技術も搭載しており、画像のノイズを最小限に抑えながら画像取得を最適化するために光路を素早く調整します。SP 1は、毎時1000枚の画像を高速かつ高精度に処理し、リアルタイム解析を実現します。KLA/TENCOR SP 1に関連するソフトウェアスイートは、ワークフローの自動化、欠陥検出、項目追跡、およびリアルタイム診断を提供することにより、検査プロセスを最適化する一連のソフトウェアツールです。工具のセットアップ時間を短縮し、ラボテストを自動化し、検査サイクルを最適化するように設計されています。このスイートには、独自の包括的なユーザーインターフェイスが含まれており、データ収集、画像処理、欠陥解析、アイテム追跡、結果検証、レポート作成のための強力な機能が含まれています。また、PDF、 HTML、 XML、 CSVなど、さまざまな形式で検査結果を生成する機能も備えています。TENCOR SP1には、お客様の製造環境との統合を簡素化するプラットフォームも付属しています。資産および在庫管理、計量調整、結果検証のためのカスタマイズ可能で簡単にインストールできるソフトウェアソリューションを提供します。オペレータとKLA SP 1アセット間のシームレスな通信を保証し、複数のSP1システムを連携させることができます。また、トレーサビリティに関する詳細なアクティビティレコードを提供することで、生産を合理化し、ダウンタイムを最小限に抑えることができます。KLA/TENCOR SP1は、強力なイメージング技術、高度なソフトウェアスイート、インテリジェントプラットフォームにより、半導体デバイス、ウェーハ、マスクを迅速かつ正確に検査できます。手作業による欠陥を排除し、簡単な統合でカスタマイズを提供し、コストを削減して製造プロセスの効率を最大化するのに役立ちます。