中古 KLA / TENCOR SP1 #9248730 を販売中

KLA / TENCOR SP1
ID: 9248730
System.
KLA/TENCOR SP1は、幅広い用途向けに設計された強力なマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、高度な計測、識別、および歩留まり管理機能を組み合わせているため、処理の問題に対する正確で信頼性の高い洞察を提供できます。これにより、製造メーカーはトランジスタ、金属、その他の欠陥を迅速に特定して修正することができます。KLA SP1ユニットは、性能と精度を最大化するように設計されています。Dual Optical Sensor (DOTS)とQuad Optical Sensor (QOTS)の2つの洗練された光学アイテムを備えています。DOTSは、KLAの高度なラインスキャン技術を使用して、ステップ前後のウェーハ画像を検査し、高解像度で鮮明な画像を提供します。QOTSは、さらに高い解像度を提供する4チャンネルの光学機器です。どちらのセンサも、粒子、傷、粗いリソグラフィ、オーバーレイの問題など、幅広い欠陥を識別できます。また、TENCOR SP 1には自動欠陥レビューモジュールが搭載されており、エンジニアとオペレータが潜在的な欠陥を迅速にレビューおよび分類できるため、手間のかかる分析が不要になります。KLA/TENCOR SP 1は、高度な歩留まり管理機能も提供します。自動歩留まりトレンド、ビニング、分類機能により、測定が困難な金属欠陥またはトランジスタ欠陥の傾向を特定できます。また、従来の方法で見落とされる異常を特定し、発見されていない欠陥による歩留まり損失を低減することができます。SP1は、強力で費用対効果の高い品質保証ツールです。高度な計測、識別、歩留まり管理機能により、製造メーカーはプロセスの問題を迅速に検出および修正し、スクラップを削減して歩留まりを改善できます。このツールは、最も要求の厳しい半導体製造工程の要求に対応するように設計されています。お客様のニーズに迅速かつ効率的に対応できるよう、優れたカスタマーサービスと広範なサービスネットワークに支えられています。
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