中古 KLA / TENCOR SP1 #9248076 を販売中

KLA/TENCOR SP1は、シリコンウェーハまたはマスクの表面全体にわたる重大な欠陥を検出するために特別に設計されたインラインマスクおよびウェーハ検査装置です。特許取得済みの照明技術であるHDIR （High Definition Image Recognition）照明は、一般的な光学検査システムでは見えない小さな欠陥を照らします。解像度は4K x 4Kに達し、わずか数ミクロンのサイズの欠陥を検出することができます。システムは、高度なアルゴリズムと分析を使用して欠陥を自動的に評価する直感的なソフトウェアによって動かされます。これは、迅速にそれらを識別し、包括的な計測レポートを生成するように設計されており、偽陽性と歩留まり損失の削減に役立ちます。また、インラインウェハマッピング用のマシンを備えており、欠陥箇所を迅速に特定してマッピングするだけでなく、ユーザーの操作を最小限に抑えてジョブを自動実行するオートパイロット機能も備えています。このツールは、ウェーハとマスクの両方を検査するのに十分な強力です。ウエハーは、ライン端の粗さやコーナー短縮などの弱点や一般的な汚染を検出することができます。また、ライン幅の検証のためのパターン間隔を検出し、ウェハが生産要件を満たしていることを確認します。マスクの場合、ほこり、粒子、錆で汚染されたマスクを検出することができます。アセットは、マスクが生産要件を満たしていることを確認するために、マーク、またはパターンを識別することもできます。KLA SP1モデルは、評価のための業界標準テストスイートのフルセットを実行し、ユーザーは比較可能なシステムから得られた結果と比較することができます。あらゆるプロセス、アプリケーション、または環境に合わせて高度に構成可能であり、複数のWLAN対応インターフェイスとも互換性があり、リモート診断とメンテナンスが可能です。全体的に、装置はオペレータの介入なしにきれいで、正確で、信頼できる結果を提供するように設計されています。これにより、TENCOR SP 1は、半導体ルーフィング業界およびその供給を検査する必要がある設計者にとって理想的なソリューションとなります。HDIR照明技術と堅牢な分析により、マスクとウェーハが欠陥がなく、生産基準を満たしていることを保証します。