中古 KLA / TENCOR SP1 #9193057 を販売中

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ID: 9193057
ウェーハサイズ: 8"-12"
Single open handler, 8"-12".
KLA/TENCOR SP1は、高速、高精度、生産性のために設計された自動マスクおよびウェーハ検査装置です。この先進的なシステムは、さまざまな半導体製造およびパッケージング環境に最適です。KLA SP1は、自動ローディング機構を備え、最大8枚のマスクまたは1枚のウエハをロードすることができます。最新の光学系および高感度検出器を使用して、各マスクまたはウェーハ表面を高解像度パターンで検査します。このユニットは、マスクやウェーハ表面の傷、ピット、汚染、ボイドなどの欠陥を検出することができます。独自のCMT公差機能により、ミスアライメント、誤作用、パターン変形などの全身的な欠陥を検出できます。結果はSPC形式のレポートで報告されます。TENCOR SP 1は、使いやすく構成が簡単なオープンアーキテクチャプラットフォームです。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスと、簡単なスクリプト作成とカスタマイズのために設計されたソフトウェア環境を備えています。このマシンには、十分なストレージと処理能力を提供する強力なコンピュータツールが装備されています。また、3次元的な視点で欠陥を分析できる統合欠陥レビューワークステーションも含まれています。TENCOR SP1は生産環境向けに設計されており、幅広い安全機能を搭載しています。空間フィルタとデュアルドライブを使用することで、精度とスループットを最適化します。さらに、組み込みのアナリティクスはリアルタイムの欠陥分析を提供し、オペレータは資産の能力を活用することができます。全体として、SP 1はマスクおよびウェーハの点検のための信頼でき、強力なモデルです。自動化機能により、効率と精度を向上させるとともに、包括的な安全機能により最高レベルのユーザー保護を実現します。
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