中古 KLA / TENCOR SP1 #9185509 を販売中
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KLA/TENCOR SP1は本質的にマスク及びウエハの点検のために設計されている装置です。このシステムには、マルチアングル照明ソース、補助光学部品、およびカスタム開発されたビジョンマッピング回路が装備されています。さらに、ウエハファブリックの精密なイメージングを可能にする高度な機能を備えています。この機械は、アセットのイメージング分野でウェハを正確に整列させる精密な光学ハンドリングツールを備えています。これにより、ウェーハパターンの正確なイメージングが可能になり、優れた空間分解能を提供します。マルチアングルイルミネーションソースは、広い2次元フィールドにわたって照明角度の配列を提供し、各ソースは異なる強度を提供します。これにより、モデルは一定の照明で画像をキャプチャすることができ、優れた均一性と再現性を提供します。装置のビジョンマッピング回路は、ウェーハパターンの顕微鏡画像のためのカスタム開発された回路です。回路はシステムに統合され、ウェーハパターンからの画像データを正確に取得できます。さらに、この回路は、画像取得プロセスのパラメータを制御する柔軟性も提供します。また、電動ウェハハンドリングマシンを搭載し、形状やサイズの異なるウェハーの検証が可能です。この自動化ツールにより、ウェーハパターンの迅速かつ効率的な検証が可能になります。また、この資産は包括的なデータ収集および分析パッケージと統合されており、ユーザーは画像データを分析して安全なデータベースに保存することができます。さらに、KLA SP1には、イメージングおよびデータ分析プロセスを強化するための包括的なソフトウェアツールが含まれています。このソフトウェアを使用すると、アライメント、分析、レイヤー検証、パターン比較などのさまざまなタスクを実行できます。このモデルは使いやすさのために設計されており、ウェーハとマスクの検査と検証のための効率的で信頼性の高いソリューションです。
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