中古 KLA / TENCOR SP1 #9097785 を販売中

KLA/TENCOR SP1マスクおよびウェーハ検査装置は、マスクおよびウェーハ用途向けの高精度で信頼性の高い自動検査システムです。半導体業界全体で使用され、光学、レチクル、およびウェーハ機能の品質と精度を保証します。KLA SP1は、高度なレーザー光センシング技術を使用して、重要な寸法、エッジ、フィデューシャル、およびその他の機能を検出および識別します。精度と再現性を確保するために、要求された機能の異常を検出するための特殊な欠陥検出アルゴリズムも組み込まれています。さらに、パターン異常、ブリッジ、ドーパント汚染、ライン幅のばらつきなどを検出する機能もあります。TENCOR SP 1は、1ミリメートルの25,000分の1までの比較機能で、ユーザーの高解像度と正確な結果を提供します。単位精度は最大3 µm （0。003mm）です。その精度を保護するために、オートフォーカス、デジタルズーム、グローバルイルミネーションなど、いくつかの検査コンポーネントが組み込まれています。感度イコライザなどの追加機能により、最適な検査のために正しいしきい値と感度を設定できます。経験豊富でユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスにより、複数のウエハやマスクイメージを並べて比較し、簡単に視覚的に確認できるユーザーにとって操作が簡単になります。さらに、内蔵の統計分析器が各検査の結果を評価し、ユーザーにその結果についての信頼を高めます。KLA SP 1には、レポートの生成とエクスポート機能、および工作機械間のネットワーキングおよびネットワーキングオプションが含まれているため、本番環境に簡単に統合できます。また、世界的な安全要件、データセキュリティ、ESD規格に準拠するように設計されており、ユーザーは安心してご利用いただけます。SP 1 Mask and Wafer Inspection Assetは、半導体業界向けの高度で信頼性の高い検査ツールであり、ウェーハやマスクだけでなく、その他の重要な部品の品質と精度を確保するための高精度かつ高精度な検査を提供します。