中古 KLA / TENCOR SP1 #9024558 を販売中

KLA/TENCOR SP1は、優れた精度と精度で高度な回路検査と分析を可能にする最先端のマスクおよびウェハ検査装置です。KLA SP1は、2台のデジタルカメラで構成されるデュアルビューオプティカルシステムを利用して、検査、計測、欠陥分類、OCRなどの機能を提供し、プロセス制御と歩留まり最適化に最適なツールです。直感的で使いやすいソフトウェアには、さまざまな機能と設定があり、ユーザーは特定のニーズに応じてユニットをカスタマイズすることができます。TENCOR SP 1の検査機能により、傷、開口部、ショーツ、ブリッジ、亀裂、偽ジオメトリなどの多数の回路欠陥を検出および識別できます。高度なレーザービームステアリングを使用して、KLA SP 1は異常を正確に見つけ、視覚的なマーカーではっきりと表示することができます。Metrology機能を使用すると、オーバーレイ精度や表面粗さの評価など、より複雑な測定と分析を実行できます。欠陥分類機能は、カスタムアルゴリズムを使用して欠陥を検出および分類し、合格/失敗インジケータまたは統計評価用のデータセットで表示することができます。OCR機能は、オーバーレイグリッドを評価しながら文字の形状やサイズを比較するのに最適です。SP 1には、さまざまな表示オプションを提供するユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスも付属しています。画像データは、輪郭プロット、ワイヤーフレーム、オーバーレイグリッドなど、さまざまな方法で表示でき、さまざまな角度から分析することができます。専用の解析スイートを使用すると、高度なデータクエリを作成し、正確な欠陥解析のための詳細な画像比較を実行できます。全体として、SP1はマスク検査とウェーハ検査のための強力なソリューションであり、優れた精度と精度で幅広い欠陥を検出することができます。高度な分析とカスタムユーザー設定により、このマシンは迅速かつ効果的なプロセス制御と歩留まりの最適化に最適です。